光刻机概念股票|光刻机板块龙头股资金流向(实时)

容大感光：2023年4月11日公司在互动易平台披露：目前公司已经购买i线投影步进式曝光机（i-linestepper），用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入，已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台，其中主要测试设备包括：光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。

上海新阳：2025年5月9日公司在互动平台披露，EUV光刻胶是公司光刻胶布局的重要研发方向之一，现在还在研发的初期阶段，材料的研发周期比较长，同时产业需要时间成熟。研究EUV光刻胶不是一定需要光刻机，但是进入量产需要有光刻机的支持才能够比较稳定的供货。2023年5月9日公司在互动平台披露，公司买了四台光刻机，其中阿斯麦尔两台，型号为：1900型和1400型；尼康两台，型号为：205C型和i14。

晶方科技：公司子公司苏州光电、荷兰Anteryon公司具备全球领先的微型光学设计、研发与制造等核心能力，其混合光学镜头、微型光学器件等产品可实现自由光学曲面、提高光效效能、微型化与高集成度等核心特点，相关产品广泛应用在半导体设备、汽车智能投射、工业自动化等市场领域。

晶瑞电材：为提升国家关键材料领域“自主可控”水平，实现半导体材料的“国产替代”，近年来，公司建成了具有国际水平的高端光刻胶生产线和测试实验平台，同时拥有紫外宽谱、g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）全系列光刻机测试实验平台。公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目，并于2020年下半年购买了ASML 1900Gi型光刻机及配套设备，于2021年下半年购入了尼康KrFS207光刻机及配套设备，已建成ArF、KrF光刻实验室。该研发项目系由公司牵头发起的超大规模集成电路用高端光刻胶技术攻关及产业化工程的攻关任务之一，旨在通过自主研发，打通ArF、KrF光刻胶用树脂的工艺合成路线，研发满足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻胶以及国内用量最大的KrF光刻胶，满足当前集成电路产业关键材料市场需求。目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，部分样品已开展客户送样验证工作。

鸿利智汇：2025年9月22日公司在互动平台披露：对于光刻机领域，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域，产品占该公司营业收入比例较小。

安泰科技：2025年11月28日公司在互动平台披露，公司目前开发的光刻机用钨合金材料，但目前尚处于国内市场开发阶段。

蓝英装备：公司旗下的精密清洗业务主要为医疗设备和高精密光学设备提供精密清洗系统。对于精密光学、医疗技术、精密机械、科学仪器以及机械电子等典型的清洁度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的精密清洗系统可提供全套个性化的设备及解决方案，内容包括实验室测试、洗涤剂的选择、清洗/漂洗的阶段配置、以及超声波频率及功率的选择等，精密清洗技术全球领先，在欧洲占据该细分行业市场的主导地位。2021年9月3日公司在互动平台披露，公司的精密清洗设备面向的在芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。

朗迪集团：公司还持有宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）份额比例为28.44%；持有宁波燕创德鑫创业投资合伙企业（有限合伙）份额比例为5.95%。2025年8月25日，公司在互动平台表示，公司通过认购宁波燕创德鑫创业投资合伙企业(有限合伙)的8,000万元份额，间接获得了长鑫科技集团股份有限公司的股权，但持股比例极低。2025年7月11日公司在互动平台披露：公司通过宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）间接持有上海微电子装备（集团）股份有限公司的股份，但持股比例极低。

新莱应材：2021年6月22日公司在互动平台披露：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

张江高科：据爱企查披露，公司全资子公司张江浩成持有上海芯上微装科技股份有限公司14.19679%股权。芯上微装官网披露，其成立于2025年2月，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。2025年8月8日，芯上微装举办了第500台步进光刻机交付仪式。

炬光科技：公司在激光光学元器件领域技术优势明显。为世界顶级企业提供光刻机用光场匀化器，公司的光场匀化器基于光场匀化核心技术，能够实现对激光光束的高度匀化，以满足光刻机等高端应用需求，产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并供应给世界顶级光学公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。此外，公司为相干公司、创鑫激光等行业知名企业提供单（非）球面柱面透镜（快轴准直镜）等光束准直转换系列产品。另，公司是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。

华亚智能：2023年9月11日公司在互动平台披露：我公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

旭光电子：公司电子管产品体系丰富，涵盖大功率广播发射管、充气放电管、米波及分米波电视发射管、微波通讯三/四极管、激光激励振荡用发射管、射频烘干振荡用发射管、高能加速器用大功率管、工业加热管等多个品类，主要应用于激光加工设备、广播电视、医疗、可控核聚变、光刻机等半导体加工设备领域。同时，依托数十年电真空器件领域的技术积淀，公司系统参与可控核聚变科技工程，加速布局直线型场反位形装置及Z箍缩装置电源系统开关产品线，定向开发真空触发管、伪火花放电管等脉冲功率开关器件及失超保护开关，全力推动相关关键技术的自主化突破。

英唐智控：2023年9月14日公司互动易披露：公司全资子公司日本英唐微拥有5台光刻机，主要用于其光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产。

联合光电：2023年3月16日公司在互动易平台披露：公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，公司的光刻机镜头技术为自主研发。

洪田股份：2025年7月18日公司在互动平台披露：公司子公司深圳洪瑞微电子科技有限公司致力于半导体、光学、新能源等领域的智能视觉检测设备与工艺设备的研发应用，目前在研新产品进展及接单均呈现良好势头，已取得液晶行业头部客户、信利光电、南钢集团等优质客户批量订单。近日，其子公司洪镭光学赢得半导体掩模版资深制造厂商青睐，获得高解析直写光刻机采购订单。

赛微电子：2025年12月，公司全资子公司北京微芯科技合计以5,282.40万元购买芯东来10.20%股权。本次交易完成后，微芯科技持有芯东来10.20%股权，芯东来成为公司参股子公司。芯东来成立于2023年，是一家具有成熟工艺制程光刻机自研和量产能力的企业，专注于光刻机整机领域，业务分为光刻机再造业务和自研光刻机业务。芯东来能够提供整套成熟工艺制程光刻机再造、新光刻机安装调试和优质零配件供应业务。

芯碁微装：公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进数字光刻技术，无需掩模版即可将版图信息直接转移至涂覆感光材料的衬底，可广泛应用于第三代半导体碳化硅、功率半导体（IGBT）、陶瓷基板等领域。MLF系列聚焦高精度、高效率的泛半导体封装场景，尤其适配绝缘栅双极型晶体管（IGBT）等功率器件的封装工艺。设备搭载高端EFEM设备前端模块，支持12英寸晶圆全自动化作业，有效提升生产效率与工艺一致性。

茂莱光学：公司已完成光刻机照明系统高精度光学器件加工与检测工艺设计以及部分资源和能力建设，正在进行工艺可行性验证。

京华激光：光刻机是激光全息防伪技术落地应用的核心设备，其性能直接决定防伪产品的精度等级与光学效果。公司通过控股美国菲涅尔，整合其技术资源，不仅实现了光刻机（光学制版）的自主可控供应，还可根据客户需求开展定制化开发，快速响应市场对不同精度等级防伪产品的需求。此外，美国菲涅尔的光刻机（光学制版）在全球范围内仅独家供应本公司使用。目前，公司在微结构领域已构建起从技术研发、设备供应到产品生产的完整产业链，处于行业领先地位。