光刻机概念股票|光刻机板块龙头股资金流向(实时)

同飞股份：在半导体制造设备领域，主要应用于晶体生长、滚圆、切片、清洗、研磨、抛光、退火、涂胶、光刻、显影、刻蚀、物理气相沉积（PVD）/化学气相沉积（CVD）、离子注入、划片、键合、分选、封装等芯片制作环节的温度控制。国产替代和市场份额提升是我国该领域企业的成长主线，公司凭借良好的行业口碑，依托多项自主知识产权，历年来已逐步拓展了北方华创、芯碁微装、上海微电子、晶盛机电、华海清科、中国电子科技集团公司第四十八研究所、北京中电科电子装备有限公司、北京特思迪等。公司凭借多年工业温控行业经验，产品种类覆盖半导体制造工艺流程中严苛的温控需求，包含氟化液为介质的制冷机组、控温±0.02℃的高精度制冷机组和耐温800℃高效换热器等先进的半导体行业用温控设备，助力国内半导体产业发展。

智光电气：2022年内，公司间接持股的粤芯半导体完成B轮战略融资，用于粤芯三期项目建设，目前粤芯已完成股份制改造。另，2019年5月公司在互动平台上表示，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻，为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。2019年9月10日公司在互动平台披露：经了解，粤芯半导体联合中标工信部半导体、芯片、关键零部件等领域的产业技术基础公告服务平台建设项目，情况属实。此建设项目面向第三代半导体碳化硅芯片制造技术，开展“卡脖子”核心装备研制，重点解决高硬度材料的高平整度、低粗糙度高效加工技术等难题。粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM (irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂，是广州第一条12英寸芯片生产线，已列为广东省、广州市重点建设项目。产品包括模拟芯片、图像传感器、电源管理芯片、功率分立器件等，满足物联网、汽车电子、工业控制、5G等应用的模拟芯片需求。

安泰科技：公司在半导体及泛半导体领域的产品包括集成电路设备的发热体和结构件材料、集成电路及显示用的钨钼溅射靶材、离子注入机用钨钼材料、蓝宝石长晶炉用的钨钼材料、电子封装热沉材料、因瓦合金材料及精密金刚石工具等。公司纳米晶带材、电子封装材料及软磁粉等产品可广泛应用于算力中心领域。2023年9月6日公司在互动平台披露，公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备，该产品尚处于市场开拓阶段，对公司业务发展尚不构成实质性支撑。公司钨钼难熔相关材料一直为我国半导体领域提供国产配套。

锐新科技：2023年9月20日公司在互动平台披露：公司的电子散热系统可用于光刻机，占比较低。

容大感光：2023年4月11日公司在互动易平台披露：目前公司已经购买i线投影步进式曝光机（i-linestepper），用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入，已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台，其中主要测试设备包括：光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。

英唐智控：2023年9月14日公司互动易披露：公司全资子公司日本英唐微拥有5台光刻机，主要用于其光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产。

东方嘉盛：2023年公司成功申请到深圳关区目前唯一具有海关分送集报功能的寄售维修资质仓库，将打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，积极推进新型开放式的产业生态，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。半导体及集成电路方面，公司积极把握战略产业发展机遇，深化重点龙头客户服务合作，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的半导体保税寄售维修服务。公司持续扩大客户基础，加大供应链管理深度，基于客户和市场需要不断覆盖更加多元化精细化的供应链管理产品，打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。同时公司也凭借领先的供应链资源统筹配置与战略投资孵化能力，积极探索半导体产业链上下游业务延伸机会，发掘产业链中服务与贸易等环节的增量潜能。2023年10月16日公司在互动易平台披露：公司为光刻机龙头客户提供寄售维修保税仓库服务业务。

联合光电：2023年3月16日公司在互动易平台披露：公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，公司的光刻机镜头技术为自主研发。

海立股份：公司官网披露，2021年12月，海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。2024年9月21日公司异动公告披露：公司控股子公司上海海立特种制冷设备有限公司为一家致力于工业设备冷却系统的研发及生产企业，其收入主要来源于冶金行业高温空调等领域。海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小，近三年年销售额占海立股份年营业收入的比例均低于0.003%。

新莱应材：2021年6月22日公司互动易披露：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，我司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

京华激光：公司控股的美国菲涅尔是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，并在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发了多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机，并在全球范围内对公司独家供应，公司在微结构光学铂金浮雕方面从技术、设备到产品生产整体处于行业领先水平。2022年内，公司拥有自主研发、与光学制版有关的光刻机共10台。

蓝英装备：公司旗下的精密清洗业务主要为医疗设备和高精密光学设备提供精密清洗系统。对于精密光学、医疗技术、精密机械、科学仪器以及机械电子等典型的清洁度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的精密清洗系统可提供全套个性化的设备及解决方案，内容包括实验室测试、洗涤剂的选择、清洗/漂洗的阶段配置、以及超声波频率及功率的选择等，精密清洗技术全球领先，在欧洲占据该细分行业市场的主导地位。2021年9月3日公司在互动平台披露，公司的精密清洗设备面向的在芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。

上海新阳：公司作为集成电路制造用关键工艺材料研发型企业，致力于推动高端光刻胶产品国产化进程，依托自身的技术实力和持续的研发投入，经过8年的开发布局，已建成包括I线、KrF、ArF干法、ArF浸没式各类光刻胶在内的完整的研发合成、配制生产、质量管控、分析测试平台，能为国内芯片企业提供多品类光刻胶产品，部分品类已实现产业化，少数品类关键光学数据处行业领先水平，公司已成为国内光刻胶供应链中重要一环。2024年，公司KrF光刻胶已有多款产品实现批量化销售，光刻胶产品整体销售规模持续增加，同比增长超100%，其中，ArF浸没式光刻胶已取得销售订单，迈出了实现产业化的第一步，为国产高端光刻胶早日实现国产化提供了坚实的支撑。2021年3月，子公司芯刻微委托盛吉盛代理投标，成功中标，购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机一台，该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。

芯碁微装：公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务，产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。公司是国家级专精特新“小巨人”企业。公司直写光刻设备可应用在IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件、IC掩膜版制造、先进封装、显示光刻等环节，直写光刻技术应用拓展不断深化，共同推动光刻设备规模的持续增长。

华亚智能：2023年9月11日公司在互动平台披露：我公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

晶方科技：公司持有荷兰Anteryon公司81.09%股权。Anteryon公司主要为半导体，手机，汽车，安防，工业自动化等市场领域，提供所需的光电传感系统集成解决方案，拥有30多年相关产品经验和完整的光电传感系统研发，设计和制造一条龙服务能力，其完整的晶圆级光学组件制造量产能力与经验系三维深度识别领域中微型光学系统和光学影像类集成电路模组所需的关键环节。2023年10月19日公司在互动平台披露：荷兰光刻机制造商ASML为Anteryon公司的最主要客户之一。

张江高科：截至2025年7月25日，张江高科通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子装备（集团）股份有限公司10.779%的股权，投资金额为22,345万元人民币。上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

电科数字：2022年9月，公司完成以17.95元/股向包括电科数字集团、三十二所、中电国睿、国元基金在内的12名柏飞电子股东定增130,166,450股，购买其合计持有的柏飞电子100%股权。柏飞电子专注于为高端专用电子装备提供高性能的国产化计算机平台、信息处理平台等整体解决方案和专业服务，客户主要为航空、航天、船舶、电子、电力、轨道交通等行业总体单位和企业。补偿义务方承诺本次交易实施完毕后，标的公司在盈利预测补偿期间的净利润分别为：2021年不低于13,757.84万元，2022年不低于16,330.95万元，2023年不低于19,747.01万元，2024年不低于23,703.70万元。2023年6月8日公司在互动平台披露：公司子公司柏飞电子在智能计算包括边缘计算、端计算领域有较强的技术实力，主要应用于雷达通讯、航空船舶、轨道交通、工业控制等高端电子装备领域和金融、交通等行业数字化。公司2022年第三季度业绩说明会及机构投资者交流情况披露，在先进制造领域，柏飞电子为轨道交通龙头企业提供信号控制产品，为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。

大族激光：2023年9月21日公司在互动平台披露，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。

鸿利智汇：2025年9月22日公司在互动平台披露：对于光刻机领域，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域，产品占该公司营业收入比例较小。