光刻机概念股票|光刻机板块龙头股资金流向(实时)

赛微电子：2025年12月，公司全资子公司北京微芯科技合计以5,282.40万元购买芯东来10.20%股权。本次交易完成后，微芯科技持有芯东来10.20%股权，芯东来成为公司参股子公司。芯东来成立于2023年，是一家具有成熟工艺制程光刻机自研和量产能力的企业，专注于光刻机整机领域，业务分为光刻机再造业务和自研光刻机业务。芯东来能够提供整套成熟工艺制程光刻机再造、新光刻机安装调试和优质零配件供应业务。

炬光科技：公司在激光光学元器件领域技术优势明显。为世界顶级企业提供光刻机用光场匀化器，公司的光场匀化器基于光场匀化核心技术，能够实现对激光光束的高度匀化，以满足光刻机等高端应用需求，产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并供应给世界顶级光学公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。此外，公司为相干公司、创鑫激光等行业知名企业提供单（非）球面柱面透镜（快轴准直镜）等光束准直转换系列产品。另，公司是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。

华亚智能：2023年9月11日公司在互动平台披露：我公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

洪田股份：2025年7月18日公司在互动平台披露：公司子公司深圳洪瑞微电子科技有限公司致力于半导体、光学、新能源等领域的智能视觉检测设备与工艺设备的研发应用，目前在研新产品进展及接单均呈现良好势头，已取得液晶行业头部客户、信利光电、南钢集团等优质客户批量订单。近日，其子公司洪镭光学赢得半导体掩模版资深制造厂商青睐，获得高解析直写光刻机采购订单。

智光电气：2022年内，公司间接持股的粤芯半导体完成B轮战略融资，用于粤芯三期项目建设，目前粤芯已完成股份制改造。另，2019年5月公司在互动平台上表示，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻，为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。2019年9月10日公司在互动平台披露：经了解，粤芯半导体联合中标工信部半导体、芯片、关键零部件等领域的产业技术基础公告服务平台建设项目，情况属实。此建设项目面向第三代半导体碳化硅芯片制造技术，开展“卡脖子”核心装备研制，重点解决高硬度材料的高平整度、低粗糙度高效加工技术等难题。粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM (irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂，是广州第一条12英寸芯片生产线，已列为广东省、广州市重点建设项目。产品包括模拟芯片、图像传感器、电源管理芯片、功率分立器件等，满足物联网、汽车电子、工业控制、5G等应用的模拟芯片需求。

锐新科技：2023年10月12日公司在互动平台披露，公司光刻机相关产品为间接供货，占比较低。2023年9月20日公司在互动平台披露，公司的电子散热系统可用于光刻机，占比较低。

联合光电：2023年3月16日公司在互动易平台披露：公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，公司的光刻机镜头技术为自主研发。

东方嘉盛：2023年公司成功申请到深圳关区目前唯一具有海关分送集报功能的寄售维修资质仓库，将打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，积极推进新型开放式的产业生态，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。半导体及集成电路方面，公司积极把握战略产业发展机遇，深化重点龙头客户服务合作，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的半导体保税寄售维修服务。公司持续扩大客户基础，加大供应链管理深度，基于客户和市场需要不断覆盖更加多元化精细化的供应链管理产品，打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。同时公司也凭借领先的供应链资源统筹配置与战略投资孵化能力，积极探索半导体产业链上下游业务延伸机会，发掘产业链中服务与贸易等环节的增量潜能。2023年10月16日公司在互动易平台披露：公司为光刻机龙头客户提供寄售维修保税仓库服务业务。

鸿利智汇：2025年9月22日公司在互动平台披露：对于光刻机领域，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域，产品占该公司营业收入比例较小。

京华激光：公司控股的美国菲涅尔是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，并在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发了多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机，并在全球范围内对公司独家供应，公司在微结构光学铂金浮雕方面从技术、设备到产品生产整体处于行业领先水平。2022年内，公司拥有自主研发、与光学制版有关的光刻机共10台。

安泰科技：公司在半导体及泛半导体领域的产品包括集成电路设备的发热体和结构件材料、集成电路及显示用的钨钼溅射靶材、离子注入机用钨钼材料、蓝宝石长晶炉用的钨钼材料、电子封装热沉材料、因瓦合金材料及精密金刚石工具等。公司纳米晶带材、电子封装材料及软磁粉等产品可广泛应用于算力中心领域。2023年9月6日公司在互动平台披露，公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备，该产品尚处于市场开拓阶段，对公司业务发展尚不构成实质性支撑。公司钨钼难熔相关材料一直为我国半导体领域提供国产配套。

朗迪集团：2025年7月11日公司在互动平台披露：公司通过宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）间接持有上海微电子装备（集团）股份有限公司的股份，但持股比例极低。

旭光电子：公司电子管产品体系丰富，涵盖大功率广播发射管、充气放电管、米波及分米波电视发射管、微波通讯三/四极管、激光激励振荡用发射管、射频烘干振荡用发射管、高能加速器用大功率管、工业加热管等多个品类，主要应用于激光加工设备、广播电视、医疗、可控核聚变、光刻机等半导体加工设备领域。同时，依托数十年电真空器件领域的技术积淀，公司系统参与可控核聚变科技工程，加速布局直线型场反位形装置及Z箍缩装置电源系统开关产品线，定向开发真空触发管、伪火花放电管等脉冲功率开关器件及失超保护开关，全力推动相关关键技术的自主化突破。

蓝英装备：公司旗下的精密清洗业务主要为医疗设备和高精密光学设备提供精密清洗系统。对于精密光学、医疗技术、精密机械、科学仪器以及机械电子等典型的清洁度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的精密清洗系统可提供全套个性化的设备及解决方案，内容包括实验室测试、洗涤剂的选择、清洗/漂洗的阶段配置、以及超声波频率及功率的选择等，精密清洗技术全球领先，在欧洲占据该细分行业市场的主导地位。2021年9月3日公司在互动平台披露，公司的精密清洗设备面向的在芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。

电科数字：2023年12月1日公司在互动平台披露,公司为光刻机等半导体装备生产商提供国产化计算、控制模块和产品。

海立股份：公司官网披露，2021年12月，海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。2024年9月21日公司异动公告披露：公司控股子公司上海海立特种制冷设备有限公司为一家致力于工业设备冷却系统的研发及生产企业，其收入主要来源于冶金行业高温空调等领域。海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小，近三年年销售额占海立股份年营业收入的比例均低于0.003%。

波长光电：公司坚持“光学+”发展战略，积极拓展光学应用场景，在半导体及泛半导体制造领域，2024年实现销售收入5,108.65万元，较去年增长82.32%，其中主要产品包括用于高端显示面板及PCB精密微加工的各类远心场镜、用于接近式掩膜光刻的平行光源系统、可用于半导体检测的微分干涉（DIC）显微镜以及应用于半导体芯片制造、封装、研发环节的高精度光学元器件；用于航天材料研发场景的真空紫外及原位测量系统以及增材制造领域的金属3D打印（SLM）光路传输系统，均实现了从研发试验阶段走向商业化交付；公司自主研发的激光远程除异物系统相关产品在轨道与电力的应用场景交付超过百件。

晶瑞电材：为提升国家关键材料领域“自主可控”水平，实现半导体材料的“国产替代”，近年来，公司建成了具有国际水平的高端光刻胶生产线和测试实验平台，同时拥有紫外宽谱、g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）全系列光刻机测试实验平台。公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目，并于2020年下半年购买了ASML 1900Gi型光刻机及配套设备，于2021年下半年购入了尼康KrFS207光刻机及配套设备，已建成ArF、KrF光刻实验室。该研发项目系由公司牵头发起的超大规模集成电路用高端光刻胶技术攻关及产业化工程的攻关任务之一，旨在通过自主研发，打通ArF、KrF光刻胶用树脂的工艺合成路线，研发满足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻胶以及国内用量最大的KrF光刻胶，满足当前集成电路产业关键材料市场需求。目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，部分样品已开展客户送样验证工作。

英唐智控：2023年9月14日公司互动易披露：公司全资子公司日本英唐微拥有5台光刻机，主要用于其光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产。

晶方科技：公司子公司苏州光电、荷兰Anteryon公司具备全球领先的微型光学设计、研发与制造等核心能力，其混合光学镜头、微型光学器件等产品可实现自由光学曲面、提高光效效能、微型化与高集成度等核心特点，相关产品广泛应用在半导体设备、汽车智能投射、工业自动化等市场领域。