研报评级☆ ◇688785 恒运昌 更新日期：2026-05-23◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
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【3.盈利预测明细】 暂无数据
【4.研报摘要】 暂无数据
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：15家
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2026-05-12│恒运昌(688785)2026年5月12日、15日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑2.09%。下滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性，
下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致
对公司的采购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑约19.57%，主要原因是持续
加大较高水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用
较上年同期大幅增加所致。2026年一季度，公司实现营业收入1.24 亿元，同比下降 12.08%，原因延续2025年年底以来的
情况；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，与上年同期相比减少，主要系公司全面提升公司运营管理
，并持续推进研发投入和各类型人才引进；同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减
值损失所致。
2. 请介绍一下公司2025年主营业务收入分产品情况
回答：公司2025年的主营业务收入按产品分类为三大板块。来自自研产品的收入约4.15亿元，占营收比例为78.38%；
来自引进产品的收入约0.87亿元，占营收比例为16.36%；来自技术服务的收入约0.28亿元，占营收比例为5.27%。
3. 请介绍一下公司在手订单及客户拓展情况
回答：截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优
势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，结合公司丰富的技术和生产经验，积极响应拓荆科技、
中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等行业头部半导体设备商需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系
统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务
产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，通过内生研发等方式，不断提升公司产品性能与质量，并拓宽公司产品
品类，助力公司长期稳定发展。
4. 请介绍一下公司的研发投入情况
回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入，报告
期内，公司研发投入金额达到 8,015.92 万元，同比增长 45.01%，研发投入占营业收入比例达 15.14%。报告期内，公司
不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追
踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
5. 请介绍一下公司的技术服务业务
回答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆
厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海
外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。
6. 请介绍一下公司产品上游元器件的情况
回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等
电气件以及钣金件等结构件。公司在研发过程中结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过
有针对性地研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。自 2021 年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷
电容、MCU 以及 SiC MOS、LDMOS、部分ADC 和 FPGA 等元器件的国产化应用。
7. 请介绍一下公司的盈利模式和销售模式
回答：公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流 电源、各种配件的研发、生产、销
售，通过向半导体、光伏、显示面板、其他工业等领域的客户销售以等离子体射频电源系统为代表的自研产品，以及引进
真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制相关的核心零部件，同时公司为晶圆厂和设备商提供等离子体射频电源系统原
位替换及维修服务，以此实现收入和利润。公司产品销售采取直销模式，公司向下游客户直接销售与设备配套的等离子体
射频电源系统等自研产品，以及真空泵、质量流量计等引进产品。
8. 请介绍一下公司募投项目的进度
回答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%，公司将通过扩产和生产流程优化等方
式提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；同时
，公司将新增全资子公司恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司（简称北京恒运昌）、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥
恒运昌作为募投项目“营销及技术支持中心项目”的实施主体。北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运
昌、合肥恒运昌处于前期准备阶段。公司也将尽快推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目及研发与前
沿技术创新中心项目的建设，持续推进产能及研发水平的提升。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项
目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。
9. 请介绍一下公司目前的人才培育制度
回答：公司根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划，建立、健全公司科学化、规范化的人
力资源管理系统，全面提升员工素质及公司管理水平与业务水平。公司根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不
断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励 在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。公
司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术
人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构。公司将进一步加强人才梯队建设，坚持内部培养和外部招聘相结合的
战略方针，加大人力资源成本投入，优化并完善更具竞争力的薪酬福利体系，吸引更多优秀人才，打造一流的人才队伍，
满足公司快速发展的需要。截至公司2025年年报披露之日，公司计划引进海外高端人才。此外，公司还将进一步扩大与有
关高校科研院所的合作，以实训基地、校外实验室、联合实验室、研究生联合培养站点等为载体，丰富产、学、研、训多
种合作模式，内外并举，实现公司未来可持续发展。
10. 请介绍一下中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统市场规模
回答：根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模达65.6亿元，未来中国
大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2025-2029 年复合增长率预计为15.6%。
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参与调研机构：5家
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2026-05-07│恒运昌(688785)2026年5月7日—8日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑2.09%。下滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性，
下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致
对公司的采购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑约19.57%，主要原因是持续
加大较高水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用
较上年同期大幅增加所致。2026年一季度，公司实现营业收入 1.24 亿元，同比下降 12.08%，原因延续2025年年底以来
的情况；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，与上年同期相比减少，主要系公司全面提升公司运营管
理，并持续推进研发投入和各类型人才引进；同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产
减值损失所致。
2. 请介绍一下公司新产品Cedar的特性与优势？
回答：公司于2025年推出第四代产品Cedar系列等离子体射频电源系统。该产品为射频电源及匹配器的一体机。公司
于2025年Q1开始研发Cedar系列，并于2025年Q4推出其样机。该系列产品具备“多个中心阻抗应用”、“快速数据及大数
据采集”等功能，可支撑更先进制程。
3. 请介绍一下公司主要产品的验证进展
回答：截至2025年年底，公司所承接的主要客户的研发产品数量不断扩大。随着合作产品数量尤其是验证导入中的产
品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。截至2025年年底，公司主要产品（即射频电源和匹配器
）于主要客户处验证导入中的数量共计76个。
4. 请介绍一下公司自研产品的情况及其与引进产品的关系
回答：公司目前的引进产品的产品种类聚焦于目前的真空泵、质量流量计、等离子体直流电源。其中，真空泵客户目
前以精密光学镀膜及半导体设备等客户为主，公司将拓展更多半导体、光伏及显示面板客户的应用，并在公司其他自研产
品客户中拓展市场空间；质量流量计目前收入较少，主要集中于精密光学镀膜客户，公司将拓展在半导体、光伏及显示面
板等领域的市场空间。同时公司将加快自研质量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品的验证和销售；引进
的等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学等领域的客户为主，公司自研的等离子体直流电源已批量出货，引进和
自研等离子体直流电源相互补充，为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。公司引进产品作为等离子体工艺整体解决方案
的一部分，与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。
5. 请介绍一下目前的行业发展情况
回答：根据 SEMI 预计，2025 年全球半导体设备总销售额预计达1,330 亿美元，同比增长 13.7%，创历史新高，并
持续保持增长态势；2026 年、2027 年有望继续攀升至 1,450 亿和 1,560 亿美元。2025 年全球用于前端设施的晶圆厂
设备支出自 2020 年以来连续六年增长，较去年同比上升 2%，达 1,100 亿美元。与此同时，中国大陆半导体市场的快速
发展、国产替代进入加速阶段、晶圆厂扩产等趋势，也为国内半导体零部件厂商创造了巨大的发展机遇和市场空间。此外
，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现由美系海外巨头厂商高度垄断的竞争格局，半导体设备厂商对
于零部件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统市场也将有一定的发展空间。
6. 请介绍一下公司的核心技术及衡量公司主营产品技术水平的关键指标
回答：历经十余年的持续研发、不断创新和积累，针对半导体设备尤其是先进制程中对高速、精准、稳定性能的严苛
需求及技术瓶颈，公司构建了以‘基石技术+产品化支撑技术’为核心的技术架构，并基于‘等离子体电源全数字测量技
术’、‘等离子体电源全数字环路控制技术’及‘等离子体电源高效功放技术’三大基石技术，并衍生出八大产品化支撑
技术。衡量公司主营产品或核心技术的关键指标包括但不限于：调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启响应时间、
关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。
7. 请介绍一下公司目前的产能情况
回答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%。公司通过扩产和生产流程优化等方式
提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；推进深
圳产能建设，这都将有助于后续产能的释放。此外，公司也将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地
项目的建设，持续推进产能的提升。
8. 请介绍一下公司目前的员工结构
回答：截至2025年年底，公司员工总数达405人。公司研发人员158人，学历本科及以上研发人员占研发人员总数比例
为84.81%。公司将根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励
在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。公司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻
性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构，打
造一流的人才队伍，满足公司快速发展的需要。此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，在产、学、研、
训等多种合作模式的基础上，内外并举，实现公司未来可持续发展。
9. 请介绍一下公司目前主要的控股公司情况
回答：公司目前拥有4个全资子公司。深圳市百世达半导体设备有限公司的主营业务为等离子体射频电源系统等半导
体设备核心零部件的销售；恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的主营业务为等离子体射频电源系统等半导体设备核心零部
件的生产。恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司的主营业务为等离子体射频电源系统的技术服务与支持。此外，为进
一步推进国际化进程，公司于 2025 年 11月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司德国恒运昌。在未来发展规划
上，德国恒运昌将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点，承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能。
10. 请介绍一下公司在知识产权方面的进展
回答：截至2025年年底，公司累计授权专利共计296项，包括发明专利 123 项，实用新型专利 72 项，外观设计专利
101 项；截至2025年年底，公司已累计申请 490 项专利，其中发明专利 262 项，占比 53.47%。
11. 公司目前是否有利润分配的计划？
回答：公司已于2026年4月28日发布《2025 年年度利润分配方案的公告》，公司拟向全体股东每 10 股派发现金红利
8.00 元（含税）。截至2026年3月31日，公司总股本 67,701,688.00 股，以此计算合计拟派发现金红利5,416.14万元（
含税），待股东会审议通过后执行。
12. 请介绍一下公司前十大流通股东
回答：截至2026年3月31日，公司前10名无限售条件股东包括证券投资基金、全国社保基金、养老基金及QFII等，具
体如下：中国建设银行股份有限公司—南方信息创新混合型证券投资基金、中国银行股份有限公司—易方达供给改革灵活
配置混合型证券投资基金、李文、全国社保基金六零二组合、中国银行—易方达积极成长证券投资基金、太平人寿保险有
限公司、澳门金融管理局—自有资金、科威特政府投资局—自有资金、交通银行股份有限公司—易方达竞争优势企业混合
型证券投资基金、基本养老保险基金—六零五二组合
13. 请问公司目前是否有股权激励计划？
回答：公司已通过深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）和深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）作为员工持股平台
实行了员工持股计划, 充分调动公司骨干员工的工作积极性，提高团队的稳定性和凝聚力。未来公司若有相关激励计划或
安排，公司将按照监管要求，及时履行信息披露义务，敬请以公司在官方渠道发布的公告为准。
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参与调研机构：36家
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2026-04-27│恒运昌(688785)2026年4月27日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2025年度及2026年度一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑2.09%。下滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性，
下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致
对公司的采购呈现波动。2025年归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑约19.57%，主要原因是持续加大较高
水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同
期大幅增加所致。2026年一季度，公司实现营业收入1.24 亿元，与上年同期相比减少 1,710.19 万元，同比下降
12.08%，原因延续2025年年底以来的情况。公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，与上年同期相比
减少，主要系公司全面提升公司运营管理，并持续推进研发投入和各类型人才引进；同时政府补助相对去年同期减少，且
公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失所致。
2. 请介绍一下公司2025年的产品迭代进展
回答：2025年，公司推出第四代产品Cedar系列等离子体射频电源系统。公司于2025年1月启动Cedar系列研发，于202
5年第四季度推出样机，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数
据采集等功能，可支撑更先进制程。截止2025年底，公司对质量流量计（MFC MEMES）的国产化研发已处于完成初样流片
及搭载测试平台阶段。公司也在重点开发大功率直流脉冲电源，进一步拓展当前直流产品的品类和技术能级。公司于报告
期内已启动了射频大数据与决策系统项目，利用大数据的发展成果建立射频电源系统领域的垂直模型等，发展服务于产品
研发、制造、应用全过程的软硬件产品与系统，提升产品全生命周期质量、提升研发和制造效率、促进设计技术迭代等，
参与等离子体微纳加工技术产学研用全链条协同创新。截止2025年，公司在研项目数量共计15个，其中有4个为2025年启
动的新项目。
3. 请介绍一下公司2025年的研发投入及研发人员情况
回答：2025年，研发费用较上年同期增长 45.01%，主要系研发费用中的人工费同比增长 61.43%，公司持续加大研发
投入力度，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力所致。截至2025年，公司研
发人员158人，同比增长10.96%，其中学历本科及以上人员占比84.81%。
4. 请介绍一下公司2025年与主要客户的合作进展与在手订单情况
回答：截止2025年，公司前五大客户分别为拓荆科技、湘潭宏大、中微公司、北方华创、江苏微导，累计实现4.45亿
元收入，占总营收比例达84.04%。公司已有76款主要产品于主要客户处验证导入。同时，公司积极拓展新客户，2025年上
半年已突破多家细分领域头部客户深化与现有客户合作，从单一产品向多产品线延伸拓展应用领域。公司还将积极推动主
营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，通过内生研发和择机对外收购的方式，不断提升公司产品性能与
质量，并拓宽公司产品品类，助力公司长期稳定发展并向光伏、显示面板等非半导体领域延伸。截止2026年4月27日，公
司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。
5. 请介绍一下公司2025年的产能情况
回答：2025年，公司的产能利用率达到98.51%。公司产能最近三年超负荷运行。公司已积极通过扩产和生产流程优化
等方式提升产能。同时公司也正积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正
式投产，公司也在同步推进深圳产能建设，都将有助于后续产能的释放。
6. 请介绍一下公司核心原材料及关键零部件供应链目前的稳定性
回答：公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品
价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并
在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。为保证生产的连续和稳定性，公司综合考虑原材
料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。自2021年起，公司先后实现
真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用，目前已有上游元器件全国产化方案，公司将结合客户等需求持续推进全面国
产化验证。
7. 请介绍一下公司对自研产品的布局规划
回答：公司的引进产品与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。目前，公司引进产
品的产品种类聚焦于真空泵、质量流量计、等离子体直流电源。其中，真空泵客户目前以精密光学镀膜及半导体设备等客
户为主，公司将拓展更多半导体、光伏及显示面板客户的应用，在公司其他自研产品客户中拓展市场空间。质量流量计目
前收入较少，主要集中于精密光学镀膜客户，公司将拓展在半导体、光伏及显示面板等领域的市场空间，同时加快自研质
量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品的验证和销售。引进的等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密
光学等领域的客户为主，公司自研的等离子体直流电源已批量出货，引进和自研等离子体直流电源相互补充，为客户直流
溅射镀膜工艺提供更多选择。公司未来将借助外部并购等战略举措，积极筛选境内外优质的标的和技术，以进一步增强等
离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服务。
8. 请介绍一下现阶段行业发展情况及竞争格局变化
回答：根据 SEMI预计，2025年全球半导体设备总销售额预计达
1,330 亿美元，同比增长 13.7%，创历史新高，并持续保持增长态势；2026 年、2027 年有望继续攀升至 1,450 亿
和 1,560 亿美元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现由美系海外巨头厂商高度垄断的竞争格局，
半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统市场快速发
展。人工智能的大量应用需求将带动新一轮半导体增长，尤其是先进制程的逻辑及存储相关的晶圆厂的产能需求，中国等
离子体射频电源系统行业正处于市场规模快速扩张、国产替代关键突破、技术迭代持续加速的黄金发展期。
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参与调研机构：3家
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2026-04-07│恒运昌(688785)2026年4月7日投资者关系活动主要内容
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1.请介绍一下公司的引进产品。公司是否对引进产品有自产替代计划？
答：公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精
确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件。
公司引进产品和自研产品一同协作，共同为下游客户提供等离子体工艺解决方案，打造围绕等离子体工艺的核心零部
件整体解决方案平台。针对引进产品中的质量流量计，公司启动了质量流量计（MFC）的国产化研发工作；针对引进产品
中的等离子体直流电源，公司已有自研的等离子体直流电源已实现了批量销售。
2.请介绍一下公司与主要客户的合作进展
答：公司是拓荆科技的前十大零部件供应商。公司于2017年上海的行业展会期间与拓荆科技相识。自2018年起，双方
启动等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，历经2年多合作验证，公司产品于2020年下半年开始逐步批量交付
拓荆科技。双方合作范围不断扩展至PEALD设备、HDPCVD设备及先进封装的键合设备领域，相关设备的等离子体射频电源
系统合作验证工作正在持续推进。2022年，公司与中微公司建立合作，持续配合客户新机台开发先进产品，并完成多款产
品的验证导入。另外，公司正为北方华创、盛美上海、微导纳米及中微公司的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配
器，推动客户结构多元化，并持续为国内多家晶圆厂开发原位替换等离子体射频电源及匹配器。
3.请介绍一下等离子体射频电源系统的技术壁垒
答：等离子体射频电源系统作为半导体设备核心零部件，是半导体设备技术更迭和制程演进的重要承载，在半导体工
艺和芯片结构日趋复杂的背景下，半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严苛，包括对产品的可靠性、稳定性和一致
性及核心零部件厂商的研发能力、技术实力。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零
部件，技术要求极高，包括在纳米尺级别上精准控制等离子体的刻蚀过程、在纳秒时间级别上和复杂环境中精准且稳定的
控制等离子体的变化。技术要求极高主要由于其直接关系到薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的浓度、均匀性和稳定性等
，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。新进入者没有长时间的技术积累和经验沉淀，是无法达到这样的技术要求
，更无法满足先进制程的需求。等离子体射频电源系统生产的一致性和稳定性要求极高，量产难度大。半导体设备及零部
件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，因此等离子体射频电源系统的量产必须确
保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性。
4.请介绍一下衡量公司主营产品或核心技术的最关键指标或维度
答：衡量公司主营产品或核心技术的最关键指标或维度主要有且不包括：调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开
启响应时间、关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。公司以技术发展、行业需求为双导向，建立
了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，并基于三大基石技术“等离子体电源全数字测量技术”、“等离子体电源
全数字环路控制技术”、“等离子体电源高效功放技术”，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、
更稳定的应用诉求和实现难点，发展出八大支撑技术，实现了对高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难
题的突破。
5.请介绍一下公司主要产品的特点
答：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半
导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序
复杂、验证难度大、验证周期长。公司主营产品半导体级等离子体射频电源系统具有多品种、小批量等特点，通常需配合
下游客户产线需求进行工艺调整，相关产品通过客户端验证后进行标准化供货，产品定制化程度较高。历经十年，公司先
后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局
，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证
阶段。
6.请介绍一下公司的维修技术服务
答：等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行维修、更换。但受国际地缘
政治形势影响，国内主要晶圆厂无法向原海外设备供应商申请采购备件或维修服务，导致生产可持续性出现较大风险。公
司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。同时，公司将通过建设募投项目“营销及技术支持中
心”在各晶圆制造集群区域投入检测设备及运营人员可以更好的服务终端晶圆厂商，减少信息误差和设备维修时差，并前
瞻性布局技术研发。
7.请介绍一下公司的产能规划
答：随着公司业绩规模不断扩大，产能持续增加。公司2022至2025年上半年的产能利用率均超过100%。对现有生产场
地和设备不足严重制约公司产能的问题，公司将在现有生产模式的基础上，在沈阳新建半导体射频电源产业化中心，在深
圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地，提高产品生产效率，扩大公司产销规模，满足不断增长的市场
需求并解决公司产能瓶颈问题，提升公司整体运营效率，促进公司业绩增长，稳定公司的行业地位以及进一步提升核心竞
争力。
8.公司2025年的业绩情况如何？
答：公司根据相关法律法规及监管要求履行信息披露义务。公司业绩情况请以公司届时披露的2025年定期报告及2026
年一季报为准。
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参与调研机构：3家
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2026-03-12│恒运昌(688785)2026年3月12日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司的业务情况及产品情况
回答：公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离
子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子
体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司主要产品等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）被广泛应用于
半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，且直接决定设备工艺能力、产品良率。历经十年，
公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的
垄断格局，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前
处于验证阶段。
2. 请介绍一下公司核心技术优势
回答：经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，建立了“基石技术+产品化
支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及架构三方面构建的底层通用的 3 大基石技术，并基于基石技术，结合半
导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出 8 大产品化支撑技术，实
现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频
、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。频快速响应能够使等离子体在最短时间内达到稳定状态，实现对
薄膜厚度和膜厚均匀性的精准控制，是设备运行的稳定性和产品良率的关键。公司主要产品等离子体射频电源系统作为薄
膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶和键合环节生产设备的核心零部件，是半导体制造中等离子体工艺控制的核心。同时
，等离子体射频电源系统也是半导体设备零部件国产化最难环节之一，在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能
力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉
积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。
3. 请介绍一下公司人员情况
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