研报评级☆ ◇688361 中科飞测 更新日期：2026-05-23◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-05-04
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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1月内 2 2 0 0 0 4
2月内 2 2 0 0 0 4
3月内 2 2 0 0 0 4
6月内 2 2 0 0 0 4
1年内 2 2 0 0 0 4
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2023年│ 2024年│ 2025年│2026年预测│2027年预测│2028年预测│
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│每股收益(元) │ 0.44│ -0.04│ 0.17│ 1.09│ 1.92│ 2.99│
│每股净资产(元) │ 7.53│ 7.62│ 14.62│ 15.69│ 17.61│ 20.60│
│净资产收益率% │ 5.82│ -0.47│ 1.15│ 7.03│ 11.08│ 14.80│
│归母净利润(百万元) │ 140.34│ -11.53│ 58.65│ 382.18│ 672.79│ 1045.35│
│营业收入(百万元) │ 890.90│ 1380.38│ 2053.30│ 3086.00│ 4498.00│ 6370.75│
│营业利润(百万元) │ 133.90│ -6.61│ 44.50│ 334.60│ 616.33│ 954.42│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2026EPS 2027EPS 2028EPS 研究机构
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2026-05-04 买入 维持 236.2 1.06 1.94 3.05 华创证券
2026-05-01 增持 维持 --- 1.05 1.96 2.98 东吴证券
2026-04-30 增持 维持 --- 1.12 1.78 2.76 光大证券
2026-04-26 买入 维持 210.96 1.14 2.01 3.15 华泰证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-05-04│中科飞测(688361)2025年报及2026年一季报点评：下游扩产带动合同负债持续│华创证券 │买入
│高增，公司全品类布局长期空间广阔 │ │
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事项：
2026年4月25日，公司发布2025年报；2026年4月29日，公司发布2026年一季报：
1）2025年公司实现营收20.53亿元，同比+48.75%；毛利率49.93%，同比+1.03pct；归母净利润0.59亿元，扭亏为盈
；扣非归母净利润-1.23亿元，同比减亏1.25%；
2）26Q1公司实现营收3.96亿元，同比+34.63%/环比-53.50%；毛利率47.77%，同比-10.31pct/环比+0.73pct；归母净
利润-0.68亿元，同比-354.28%/环比-192.65%；扣非归母净利润-1.16亿元，同比-168.55%/环比-767.30%。
评论：
Q1收入保持同比增长，研发高投入和产品结构波动导致短期利润承压。26Q1收入同比+34.63%延续同比增长趋势，环
比-53.50%属设备行业典型的Q4冲量后Q1回落的季节性特征；毛利率47.77%同比下降10.31pct，主要系一季度营收规模较
小情况下产品结构波动所致，环比25Q4毛利率基本持平。亏损同比扩大的核心原因是研发投入大幅增加——26Q1研发费用
1.83亿元（同比+52.2%），研发费用率46.26%（同比+5.35pct），系为加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，进一步
加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级的战略性投入。
Q1合同负债环比大增56%至8.81亿元，在手订单饱满度显著提升。26Q1末合同负债8.81亿元，较25Q4末的5.65亿元环
比增长55.8%，反映下游晶圆厂扩产及先进工艺升级带动的检测量测设备采购需求持续旺盛。存货30.02亿元（环比+11.2%
），备货同步加速，指向后续收入确认有充足保障。2025全年来看，检测设备收入13.64亿元（同比+38.52%），量测设备
收入6.23亿元（同比+72.71%），量测设备增速显著快于检测设备，软件产品首次贡献收入0.13亿元。境外收入同比增长8
31.48%至0.55亿元，海外拓展取得突破性进展。
下游扩产+检测量测需求随制程升级倍增，公司全品类布局卡位国产替代核心赛道。随着制程向更先进节点推进、3DN
AND层数增加及HBM封装复杂度提升，单位产能所需检测量测步骤持续增加，根据YOLE数据，2025年全球检测量测设备市场
规模已达190.9亿美元，其中中国大陆市场44.5亿美元，而该领域仍由KLA等海外厂商主导。在贸易摩擦与供应链安全诉求
持续强化背景下，国产替代正迎来加速窗口。公司2025年在全面覆盖光学检测量测设备的基础上，正式推出电子束及X光
新产品，形成"光学+电子束+X光"三大技术路线一站式良率管理方案，是国内稀缺的全品类覆盖的平台型标的，凭借区位
优势、定制化服务及供应稳定性，正处于国产化红利的核心受益位置，市占率有望持续提升。
投资建议：下游晶圆厂积极扩产，量检测设备国产替代空间广阔，公司作为国内量检测设备领军厂商有望深度受益。
我们维持公司2026-2027年营业收入预测为31.91/46.42亿元，新增2028年营业收入预测为66.45亿元，考虑到规模效应释
放及产品结构优化，将2026-2027年归母净利润预期由3.62/5.92亿元上调为3.70/6.80亿元，新增2028年归母净利润预测
为10.67亿元。参考可比公司估值及公司业绩的成长性，给予公司2026年0.57倍PSG，对应目标价为236.2元，维持“强推
”评级。
风险提示：新产品研发不及预期；行业竞争加剧；国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期。
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2026-05-01│中科飞测(688361)2025年报&2026一季报点评：营收持续增长，先进制程量检 │东吴证券 │增持
│测设备验证进展顺利 │ │
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2025年营收高增，净利润扭亏为盈：2025年公司实现营收20.53亿元，同比+48.75%，其中检测设备营收13.64亿元，
同比+38.52%，量测设备营收6.23亿元，同比+72.71%，软件营收0.13亿元；归母净利润为0.59亿元，扭亏为盈，主要受益
于营收规模增长、研发投入占比下降带动盈利水平提升，扣非净利润为-1.23亿元，同比-1.25%。2026Q1单季营收为3.96
亿元，同比+34.63%，环比-53.5%；归母净利润为-0.68亿元，同比亏损幅度扩大，环比转负；扣非归母净利润为-1.16亿
元，同比亏损幅度扩大，环比转负，我们认为随着公司先进设备批量交付，业绩将充分释放。
25年盈利能力改善，26Q1营收结构变动影响毛利率同比：2025年公司毛利率为49.93%，同比+1.03pct，其中检测设备
毛利率为53.29%，同比+0.77pct，量测设备毛利率为41.91%，同比+4.38pct，软件毛利率为54.59%；销售净利率为2.86%
，同比+3.69pct；期间费用率为50.55%，同比-4.95pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为7.40%/10.33%/31.95%/0
.87%，同比-0.3/-1.5/-4.1/+0.9pct。研发投入维持高位但占营业收入比例下降，2025年研发费用达6.56亿元，同比+31.
95%。2026Q1单季毛利率为47.77%，同比10.31pct，环比+0.73pct，主要系公司销售结构季度波动结合一季度营收规模较
小影响各盈利产品占比，导致综合毛利率同比波动；销售净利率为17.16%，同比-12.07pct，环比-25.77pct。
合同负债快速增长，经营活动现金净流出同比收窄：截至2026Q1末公司合同负债为8.81亿元，与2025年末比+55.8%，
主要系订单规模持续增长；存货为30.02亿元，与2025年末比+11.2%；2026Q1公司经营活动净现金流为-0.2亿元，同比环
比净流出均收窄。
平台化布局产品线持续丰富，更先进制程研发验证进展顺利:1)无图形晶圆检测设备:量产型号已覆盖1Xnm及以上工艺
节点。2)图形缺陷检测设备:广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，其中用于具备三维检测功能的设备与HBM等先进封
装的3DAOI设备通过国内头部客户验证，在国内企业的绝对领先优势进一步巩固。2Xnm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、
暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发进展顺利。3)三维形貌量测设备：支持2Xnm及以上制程，应用在HBM等新兴先进封
装领域的三维形貌量测设备也通过多家国内头部客户验证，在国内企业的绝对领先优势进一步巩固。4)薄膜膜厚量测设备
：已覆盖国内先进工艺和成熟工艺的主要集成电路客户，金属薄膜膜厚量测设备为新增长点，订单量持续稳步增长，市占
率不断提升，测量精度更高的新一代介质薄膜膜厚量测设备已通过多家国内主流客户验证。5)套刻精度量测设备：90nm及
以上工艺节点的设备已实现批量销售，2Xnm设备已通过国内头部客户产线验证，获得国内领先客户订单。6)明场纳米图形
晶圆缺陷检测设备系列在头部客户验证，进展顺利。暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内头部逻辑及存储客户
产线验证并实现批量销售；7)关键尺寸量测设备：2Xnm产品研发进展顺利，已完成客户端验证，实现对国内主流客户销售
。8)良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统已陆续交付客户。
盈利预测与投资评级：考虑到下游行业高景气，公司新产品放量，我们上调公司2026/2027年归母净利润为3.7/6.9（
原值3.6/5.0）亿，预计公司2028年归母净利润为10.4亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为178/96/63X，维持“
增持”评级
风险提示：晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期。
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2026-04-30│中科飞测(688361)2025年年报及2026年一季报点评：25年营收与盈利能力改善│光大证券 │增持
│，持续加强前沿产品研发提升竞争力 │ │
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事件：公司发布2025年年报及2026年一季报。2025年，公司实现营业收入20.5亿元，同比增长48.8%，归母净利润0.6
亿元，同比扭亏为盈，扣非归母净利润-1.2亿元，同比少亏1.3%。2026年Q1，公司实现营收4.0亿元，同比增长34.6%，归
母净利润-0.7亿元，亏损同比扩大354.3%。
点评：25年营收保持高速增长，期间费率改善明显：2025年，公司营收同比大幅增长，主要得益于公司在核心技术、
客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的全面竞争优势进一步增强带来订单增长；受营收增长带来的规模效应以及产品结
算结构等影响，公司综合毛利率同比稳步提升1.0pct至49.9%，其中量测设备结算毛利率同比提升明显，同时，期间费率
明显优化，期间费率同比下降5.0pct至50.5%，其中研发费率同比下降4.1pct至32.0%；归母净利润和扣非归母净利润同比
表现皆改善，发展趋势向好，但扣非归母净利润同比仍未扭亏，盈利能力仍有提升空间。2026年Q1，公司营收同比延续快
速增长趋势，单季度归母净利润环比由盈转亏，主要因公司人员扩张，经营投入增加，短期各项期间费用同比有所上升，
营收增长反映相对滞后，同时，因不同盈利水平的产品结算结构短期波动影响，综合毛利率同比下降10.3pct至47.8%。
完善产品矩阵，拓展市场空间，新产品验证进展顺利：2025年，分产品看，公司检测设备实现营收13.6亿元，同比增
长38.5%，毛利率53.3%，同比提升0.8pct；量测设备实现营收6.2亿元，同比增长72.7%，毛利率41.9%，同比提升4.4pct
；公司在全面覆盖晶圆制造光学检测与量测设备种类的基础上，进一步推出多款基于电子束及X光检测技术的新产品，形
成十三大系列设备的产品矩阵，拓宽了公司的产品市场空间，能够为先进逻辑、先进存储以及HBM2.5D/3D封装等前沿领域
客户提供更为全面的一站式良率管理解决方案，进一步提升市场竞争力；公司的暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新产品
已通过多家国内头部逻辑及存储客户产线验证并实现批量销售，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设
备等现有系列升级迭代产品收入贡献亦增长明显。
盈利预测、估值与评级：考虑到公司拓宽产品线，新设备验证进展顺利，我们上调公司2026-2027年归母净利润预测
为3.9/6.2亿元（分别上调7.8%、8.4%），新增公司2028年归母净利润预测为9.7亿元，公司始终专注于高端半导体质量控
制领域，随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，未来经营规模及盈利能力持续向好，维
持“增持”评级。
风险提示：新产品验证进度不及预期，下游客户需求放缓、晶圆厂资本开支不及预期等。
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2026-04-26│中科飞测(688361)光学+电子束+X光一站式布局领先 │华泰证券 │买入
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中科飞测发布年报，2025年实现营收20.53亿元（yoy+48.75%），归母净利5865.26万元，扭亏为盈。其中Q4实现营收
8.52亿元（yoy+49.94%，qoq+70.47%），归母净利7335.10万元。公司为先进逻辑、先进存储以及HBM2.5D/3D封装等前沿
领域客户提供覆盖“光学+电子束+X光”三大核心技术路线的一站式良率管理解决方案，同时拥有良率管理、缺陷自动分
类、光刻套刻分析三大软件产品形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环。展望2026年，我们有望看到
国内先进制程及存储积极扩产，中科飞测作为量检测赛道核心供应商有望持续受益，维持“买入”评级。
25全年回顾：营收高增，毛利率稳步向好，利润扭亏为盈
25年公司营收20.53亿元（yoy+48.75%），综合毛利率49.93%（yoy+1.03pct）。暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、第
四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等升级迭代贡献增长。检测设备营收13.64亿元（yoy+38.52%）
，占比66.43%，毛利率53.29%（yoy+0.77pct）；量测设备营收6.23亿元（yoy+72.71%），占比30.36%，毛利率41.91%（y
oy+4.38pct）；软件营收0.13亿元，占比0.61%，毛利率54.59%。25年公司研发费用率31.95%（yoy-4.12pct），归母净利
润0.59亿元，实现扭亏为盈。期末合同负债5.65亿元，存货26.99亿元，订单持续增长。
覆盖“光学+电子束+X光”三大技术路线，软件应用进展顺利
公司十三大系列设备涵盖光学、电子束以及X光等多种类设备，光学类八大系列设备已经批量量产，产品市占率稳步
快速增长；明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已批量出货至多家头部客户开展产线工艺验证和应用开发，晶圆平整度量测设
备已出货头部HBM客户开展产线工艺验证和应用开发。电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工
艺验证和应用开发。X光类设备目前高深宽比刻蚀结构量测设备已通过国内头部存储客户验证；硅通孔铜填充空隙量测设
备已出货头部存储客户进行工艺验证和应用开发。公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户。
明暗场纳米图形晶圆缺陷检测进展顺利，电子束/X光开拓新市场
公司暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内头部逻辑及存储客户产线验证并实现批量销售，出货机台数量快
速增长，明场设备目前小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。2025年，公司正式推出多款
基于电子束及X光检测技术的新产品，构建“光学+电子束+X光”三大技术路线一站式解决方案，同时拥有良率管理、缺陷
自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。根据YOLE数据，2025年中国大陆半导体量检测设备市
场规模达到44.5亿美元，后续有望看到设备国产替代进程加速，中科飞测作为核心国产供应商有望持续受益。
盈利预测与估值
考虑收入确认节奏的波动，我们调整26-27年收入预测（2.5%/2.1%）为30.8/44.7亿元，对应调整公司26-27年归母净
利润预测（1.7%/-2.4%）为3.98/7.04亿元。下游芯片制造商加速扩产拉动半导体设备高景气，近期板块估值整体上升，
可比公司2026年Wind一致预期PS均值为12.4倍。考虑公司所处赛道国产化率低，同时公司切入电子束及X光检测设备进一
步扩展市场空间，看好公司成长性，给予公司2026年24倍PS，目标价210.96元（目标价前值：132.9元，对应15.5倍2026
年PS），维持“买入”。
风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：175家
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2026-04-28│中科飞测(688361)2026年4月28日投资者关系活动主要内容
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深圳中科飞测科技股份有限公司于2026年4月28日在中科飞测办公室举行投资者关系活动，参与单位名称及人员有详
见附件1《与会单位名单，上市公司接待人员有陈鲁董事长、总经理，古凯男董事会秘书，周凡女财务总监。 查看原文
https://data.tdx.com.cn/zxfile/pdf_tb_news_jgdyxx/202604/84415688361.pdf
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参与调研机构：75家
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2026-03-25│中科飞测(688361)2026年3月25日-31日投资者关系活动主要内容
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问：关于2025年业绩增长驱动因素及2026年业绩展望。
答：2025年，公司新系列产品及现有系列升级迭代产品的收入贡献增长，推动订单规模及营收规模持续增长。
综合目前的经营情况、产品进展以及市场环境，公司对2026年经营情况充满信心，预计将在收入、利润和订单层面都
有积极的表现。
问：关于产品进展情况。
答：公司各主要系列产品与目前国内产线扩产需求相匹配，特别是在AI算力、数据中心等相关需求带动下的先进制程
产线扩产需求相匹配。
在HBM等前沿应用领域，图形晶圆缺陷检测设备包括3D AOI设备、三维形貌量测设备、套刻精度量测设备都已经通过
多家国内头部客户的验证并实现批量销售；晶圆平整度测量设备已出货HBM客户开展产线工艺验证和应用开发。
公司积极推进量产产品的市占率提升以及新产品的客户产线验证，积极推进各系列产品线的市占率和技术先进性，为
客户提供全方位的产品服务。
问：关于公司产品在头部逻辑及存储领域的应用情况与竞争优势。
答：公司与国内头部的逻辑及存储客户建立了长期深度的战略合作关系，各类产品布局已全面覆盖客户需求，多款新
产品验证进展顺利。
新设备验证通常需耗费客户大量的研发、工艺及生产资源，因此客户对验证设备的选择极为审慎，首要关注产品及技
术成熟度，其他考虑因素还包括量产稳定性、可升级迭代程度等方面，尤其是先进工艺客户对这些要求明显提高。基于长
期深度的合作基础、全面的产品覆盖能力及成熟的技术实力，公司各系列产品持续获得头部客户认可，有信心在相关客户
未来扩产对国产量检测设备的需求中占据较大的竞争优势。
问：关于目前行业竞争格局以及公司的应对策略。
答：目前国内量检测设备市场的国产化率还非常低，未来几年国内企业整体上仍处于抢占国外企业市场份额的过程中
。半导体量检测设备的技术壁垒高、研发和验证周期长。经过10余年的持续研发和产品迭代，公司目前在产品覆盖广度和
深度、技术先进性、客户资源等方面在国内市场上已显著领先。
未来公司将持续推进新产品研发以及现有产品向更先进制程的升级迭代，不断提高产品覆盖广度与深度的同时，加大
海内外市场拓展力度，稳步提升营收规模与市场占有率。
问：关于毛利率、净利率的未来展望。
答：目前公司的毛利率主要受产品和客户结构影响。公司未来毛利率有望持续维持在较高水平，先进制程产品的市场
认可度提升、销售占比提升是对于毛利率提升的积极因素，但市场环境的变化、新增固定资产的折旧摊销等方面也会影响
毛利率的提升。
随着公司经营规模持续稳步增长，各项费用整体占营业收入的比例逐步下降，净利率持续稳步提升。
问：关于供应链国产化情况。
答：长期以来，公司在设备整机的研发和产业化进程中，同时会进行大量的投入与零部件供应商开展技术合作。目前
公司核心零部件国产化推进成效显著，供应链体系安全稳定，能够确保供应链能够在设备完成研发后顺利转入大规模量产
，为客户持续稳定供货。
问：关于公司产能规划。
答：公司位于广州的IPO募投项目已于近期投产，上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化基地、深圳总部基
地及研发中心升级建设项目正按计划有序推进，产能布局持续完善，能够满足不断增长的生产需求。
除以上问题外，其余交流内容已在之前发布的投资者关系活动记录表或定期报告等公告中披露，本次不再重复披露。
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