研报评级☆ ◇688147 微导纳米 更新日期：2026-05-23◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-05-14
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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1月内 2 2 0 0 0 4
2月内 2 2 0 0 0 4
3月内 2 2 0 0 0 4
6月内 2 2 0 0 0 4
1年内 2 2 0 0 0 4
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2023年│ 2024年│ 2025年│2026年预测│2027年预测│2028年预测│
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│每股收益(元) │ 0.60│ 0.50│ 0.48│ 0.69│ 1.05│ 1.51│
│每股净资产(元) │ 5.16│ 5.67│ 6.26│ 7.00│ 7.91│ 9.14│
│净资产收益率% │ 11.53│ 8.74│ 7.40│ 9.80│ 13.21│ 16.27│
│归母净利润(百万元) │ 270.39│ 226.71│ 219.37│ 318.75│ 484.75│ 696.75│
│营业收入(百万元) │ 1679.72│ 2699.90│ 2633.30│ 2875.75│ 3734.75│ 4720.75│
│营业利润(百万元) │ 289.31│ 227.52│ 220.42│ 322.50│ 489.00│ 704.00│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2026EPS 2027EPS 2028EPS 研究机构
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2026-05-14 买入 维持 --- 0.48 0.96 1.65 长江证券
2026-05-08 增持 维持 --- 0.76 1.11 1.44 华安证券
2026-05-06 增持 维持 --- 0.85 1.23 1.47 平安证券
2026-04-29 买入 维持 --- 0.67 0.90 1.48 浙商证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-05-14│微导纳米(688147)2025&2026Q1点评：光伏拖累短期业绩承压，半导体放量驱 │长江证券 │买入
│动增长换挡 │ │
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事件描述
公司2025年营收26.33亿元同比-2.47%，归母净利润2.19亿元同比-3.23%；2025Q4营收9.12亿元同比-21.11%，归母净
利润-0.29亿元，单季度转亏；2026Q1营收4.82亿元同比5.54%，归母净利润0.21亿元同比-75.01%。
事件评论
光伏周期性下行致使短期业绩承压。2025年和2026Q1公司收入与利润出现下滑的主要原因在于：1）光伏行业经历全
面过剩到结构性修复收缩的阶段，阶段性供需错配致使光伏设备验收数量减少，26Q1光伏设备收入同比大降30.53%，使整
体业务短期承压；2）公司持续推进半导体设备国产化，并巩固在新一代光伏电池技术领域的领先优势，保持高强度研发
投入、加快半导体项目建设，使得折旧摊销及研发支出同比增长；3）为加快资金回笼，公司对某客户应收账款实施债务
重组，确认债务重组损失；4）受国际汇率市场波动影响，产生汇兑损失。
半导体营收占比大幅提升。2025年光伏设备收入为15.91亿元同比下降30.52%，毛利率为37.30%，同比减少3.37pct；
半导体设备实现高速增长，收入达8.81亿元同比+169.12%，营收占比显著提升至33.49%，毛利率18.53%，同比减少9.15pc
t，主要为尚处放量初期折旧摊销增加及产品结构原因。在订单方面，光伏行业当前仍受产业链盈利压力影响，验收节奏
有所放缓；但公司2025年半导体新签订单高速增长，随着光伏设备收入占比的缩减，公司已逐渐摆脱对单一光伏业务的依
赖，半导体业务有望接力光伏，成为下一阶段公司成长的发力点。
研发投入持续加码，多款半导体核心设备实现量产导入。2025年公司研发投入总额为3.76亿元（其中费用化2.65亿元
），研发投入占营收比例保持在14.26%的高位。2026Q1研发投入达到1.17亿元，同比大幅增长72.88%，研发费用率增至24
.24%，投入进一步加大。公司超过70%的研发资源投入到半导体领域，取得了显著成果：ALD设备中，iTomicHiK（高k介质
）和iTomicMeT（金属化）系列持续获得核心客户量产批量订单，空间型ALD（iTomicSPX）进入产业化验证；CVD设备中，
硬掩模MTP系列成功导入国产领先厂商先进制程产线，PE及LP系列亦在先进封装等领域获得重要客户订单。
投资建议：尽管光伏行业短期面临结构性出清压力，但公司的半导体业务爆发，已构筑了稳固的第二增长曲线。当前
逻辑、存储芯片正向高密度、3D化发展，对极高台阶覆盖率的ALD设备、高端CVD设备的需求正快速上升。公司为国产ALD
设备龙头公司，快速拓展高端CVD设备，并在新兴领域如固态电池、硅基OLED等进行前沿布局。预计未来随着半导体充沛
订单的高速交付与验收，公司盈利能力和业绩规模将迎来全面重塑与爆发。预计2026-27年公司营收分别为26、41亿元，
维持“买入”评级，继续重点推荐。
风险提示
1、新产品研发、验证进度不及预期的风险；2、下游技术发展、扩产规模不及预期的风险。
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2026-05-08│微导纳米(688147)半导体设备收入快速增长，并开发新兴领域产品 │华安证券 │增持
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公司业绩：
2025年，公司实现营业收入26.3亿元，同比减少2.5%，归母净利润2.2亿元，同比减少3.2%，扣非后归母净利润1.6亿
元，同比减少14.5%。其中，2025年第四季度，公司实现营业收入9.1亿元，同比减少21.1%，环比增长35.7%，归母净利润
-0.3亿元，上年同期为0.8亿元，上季度为0.6亿元，扣非后归母净利润-0.3亿元，上年同期为0.7亿元，上季度为0.5亿元
。
2026年第一季度，公司实现营业收入4.8亿元，同比减少5.5%，环比减少47.1%，归母净利润0.2亿元，去年同期为0.8
亿元，扣非后归母净利润-0.3亿元，去年同期为0.8亿元。
2025年，公司毛利率32.7%，其中第四季度毛利率33.3%，同比减少8.8个百分点，环比增加6.8个百分点，2026年第一
季度毛利率32.8%，同比减少3.4个百分点，环比减少0.6个百分点。
半导体设备业务快速增长，多款设备或量产导入。
2025年，公司半导体设备收入8.8亿元，同比增长169.12%，占主营业务收入的比重提升至33.49%，新签订单规模屡创
新高。公司多款ALD和CVD设备获得重点客户验证和量产导入，核心产品High-k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备的量
产规模持续扩大，应用于存储、逻辑芯片和先进封装领域。
光伏设备继续进行前瞻性技术布局并加速出海，并持续开发新兴领域。2025年公司光伏设备收入15.9亿元，同比下降
30.52%。由于光伏行业阶段性供需错配矛盾仍未完全化解，产业链盈利压力对设备验收节奏形成一定影响但基于下游光伏
技术迭代及海外市场需求，公司一直持续开展前瞻性技术布局并加速出海步伐。
除半导体和光伏外，公司已在固态电池、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进
行深耕布局。
投资建议
我们预计公司2026/2027/2028年归母净利润分别为3.5/5.1/6.6亿元，前次2026/2027年预测值为4.96/5.3亿元，主要
基于半导体业务进展节奏，稍上调盈利预测，当前市值对应PE分别为103/70/54，维持“增持”评级。
风险提示
公司获取订单节奏不及预期；下游行业需求不及预期；光伏行业产能出清节奏不及预期。
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2026-05-06│微导纳米(688147)光伏业务承压，半导体业务成为公司核心支撑点 │平安证券 │增持
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事项：公司发布2025年报和2026Q1报，2025年，公司实现收入26.33亿元，同比下降2.47%，实现归母净利润2.19亿元
，同比下降3.23%；2026Q1，公司实现收入4.82亿元，同比下降5.54%，实现归母净利润2102万元，同比下降75.01%。
平安观点：光伏业务承压，拖累公司整体业绩。2025年，公司实现收入26.33亿元，同比小幅下降2.47%，实现归母净
利润2.19亿元，同比下降3.23%，实现扣非归母净利润1.60亿元，同比下降14.53%。2026Q1，公司实现收入4.82亿元，同
比下降5.54%，实现归母净利润2102万元，同比下降75.01%，实现扣非归母净利润2208万元，同比下降72.85%，实现经营
性现金流6927万元，同比转正。公司业绩总体出现下滑，主要原因为光伏行业周期性下行，公司光伏设备验收数量减少，
相关业务短期承压所致。具体数据方面，2025年，公司光伏设备收入15.91亿元，同比下降30.52%，是公司业绩下滑的主
要拖累。
半导体业务发力，成为支撑公司业绩的核心业务。2025年，公司半导体设备收入8.81亿元，同比增长169.12%，占主
营业务收入的比重提升至33.49%，成为公司的核心增长极。2025年，公司半导体设备业务实现重要突破与快速增长，新签
订单规模屡创新高，为公司积累了充足的订单储备。2025年，公司多款ALD和CVD设备获得重点客户验证和量产导入，核心
产品High-k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与新技术市场渗透率稳步提升。在存储、
逻辑芯片、先进封装等各细分类领域，均取得了长足的进步：1）存储领域：公司作为国内ALD与高端CVD设备的主要供应
商，相关设备已广泛应用于国产存储芯片量产产线，相关工艺技术对推动DRAM、3DNAND等存储芯片技术的迭代与产业化具
有关键支撑作用。未来，伴随3D结构层数持续增长以及客户扩产及国产化率的提升，公司有望深度受益。2）逻辑芯片领
域：公司与国内主流厂商保持着稳定合作关系，多款设备已通过客户严格的技术验证，关键指标达到国际先进水平，能够
满足国内客户当前技术的需求以及未来技术更迭的需要，部分产品已成功导入到多个国产领先厂商产线。随着国内市场对
高端国产薄膜沉积设备需求的增长，该领域业务有望保持增长态势。3）先进封装领域：公司相关设备已在客户端进行验
证，并与多家潜在客户开展技术交流。产品采用独特低温控制技术，在保证薄膜高质量沉积的同时，满足先进封装技术低
热预算、高晶圆翘曲度、厚膜沉积等低温高质量薄膜需求，适配HBM、Chiplet、2.5D/3D封装等先进封装技术对薄膜沉积
设备提出的全新技术要求。
投资建议：公司ALD设备起家，并逐渐拓展到CVD领域，在半导体和光伏行业有广泛应用，具备较强的卡位优势。受到
光伏业务行业周期下行影响，我们调整了公司的业绩预测，预计2026-2028年公司净利润分别为3.93亿元（前值为5.19亿
元）、5.69亿元（前值为7.91亿元）、6.77亿元（新增），对应4月30日收盘价的PE分别为93.2X、64.3X、54.0X，虽然公
司光伏业务短期承压，但半导体业务正快速发力，逐渐成为支撑公司业绩的核心业务，且未来潜力可观，维持对公司“推
荐”评级。
风险提示：（1）技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求
不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商
的需要。（2）下游需求的风险。光伏正处于周期下行阶段，若行业长期难以企稳或回暖，光伏设备将成为公司业绩的拖
累。（3）国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止
对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。
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2026-04-29│微导纳米(688147)点评报告：半导体设备高成长，光伏设备阶段性承压 │浙商证券 │买入
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事件：公司发布2025年报及2026年一季报。
半导体设备收入持续增长，光伏设备收入利润承压
2025年公司实现营收26.3亿元，同比-2%，归母净利润2.2亿元，同比-3%，毛利率32.7%，同比-7.3pct，净利率8.3%
，同比-0.1pct。分业务看，光伏设备营收15.9亿元，同比-31%，毛利率37.3%，同比-3.4pct；半导体设备营收8.8亿元（
营收占比提升至34%），同比+169%，毛利率18.5%，同比-9.2pct。公司利润下滑主要系1）光伏设备验收数量减少，导致
整体营收小幅下降；2）产品结构变动、新建产能导致折旧摊销增加、叠加光伏相关项目计提资产减值损失；3）为推进半
导体业务的发展并保持在新一代光伏电池技术的领先优势，继续保持高研发投入。
2026Q1公司实现营收4.82亿元，同比-5.5%，归母净利2102万元，同比-75%，扣非归母净利2208万元，同比-73%，毛
利率32.8%，同比-3.3pct，环比-0.5pct，净利率4.4%，同比-12.1pct，环比+7.6pct，研发投入大幅增长至1.17亿元，同
比增长73%。2026Q1净利润大幅下滑主要系光伏设备收入下滑31%、研发投入大幅增长73%、债务重组损失1092万元、折旧
摊销及汇兑损失增加所致。
半导体设备：ALD全面覆盖先进工艺，高端CVD实现关键工艺量产
1）ALD设备：公司是国内领先的ALD设备公司，产品涵盖行业主流ALD薄膜材料及工艺。2025年，公司多款ALD和CVD设
备获得重点客户验证和量产导入，核心产品High?k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与
新技术市场渗透率稳步提升。公司持续拓展技术覆盖面，陆续研发和推出HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及
高深宽比3DNAND、3DDRAM、TSV技术等工艺解决方案，可覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体和新型显示
中ALD技术的主要应用场景。
2）CVD设备：①PECVD设备：发展思路为从高端材料到通用材料，逐步打开市场。在高端材料领域，公司从高温硬掩
模PECVD设备出发，已获得客户验证并形成批量订单，未来目标是覆盖全温阈、全工艺（各类化学源）、全应用（逻辑、D
RAM、3DNAND）的碳薄膜领域。在通用膜层材料领域，公司已研发SiO2、SiN、SiON、a-Si等通用膜层PECVD设备，已通过
多家客户的产品性能测试，目前处于测试阶段。②LPCVD设备：LPCVD设备已覆盖SiGe、poly-Si、dopeda-Si工艺，已经产
业化验证并取得重复订单。
光伏设备：ALD设备龙头，持续研发、加速出海
公司是国内光伏ALD设备龙头，技术方案覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿等高效电池技术。目前光伏行业经历全面过剩到结
构性修复收缩的调整阶段，阶段性供需错配矛盾仍未完全化解，产业链盈利压力对设备验收节奏形成一定影响，导致公司
订单及营收形成压力。公司持续开展前瞻性技术布局，加速出海战略，长期受益于光伏技术迭代。
新兴领域：持续拓展薄膜沉积设备多领域应用，打造新增长极
公司已在固态电池、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进行深耕布局。受益于
固态电池、柔性电子等市场需求增加和技术迭代升级，新兴领域高端薄膜沉积技术的应用前景广阔。
盈利预测：预计2026-2028年营收30、39、52亿元，同比增长14%、28%、35%，归母净利润3.1、4.1、6.8亿元，同比
增长42%、33%、65%，对应2026年4月29日PE108、82、49倍，维持“买入”评级。
风险提示：光伏应收账款坏账风险、新品验证不及预期风险、市场竞争加剧风险
【5.机构调研】 暂无数据
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