研报评级☆ ◇688037 芯源微 更新日期：2026-04-01◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-01-15
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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3月内 1 0 0 0 0 1
6月内 4 3 0 0 0 7
1年内 13 13 1 0 0 27
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2022年│ 2023年│ 2024年│2025年预测│2026年预测│2027年预测│
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│每股收益(元) │ 2.16│ 1.82│ 1.01│ 0.60│ 1.52│ 2.76│
│每股净资产(元) │ 22.74│ 17.26│ 13.39│ 14.01│ 15.52│ 18.23│
│净资产收益率% │ 9.50│ 10.53│ 7.54│ 4.27│ 9.82│ 15.37│
│归母净利润(百万元) │ 200.16│ 250.63│ 202.81│ 121.52│ 306.48│ 557.12│
│营业收入(百万元) │ 1384.87│ 1716.97│ 1753.61│ 1932.00│ 2540.14│ 3415.86│
│营业利润(百万元) │ 175.98│ 279.44│ 221.78│ 126.14│ 336.29│ 603.00│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2025EPS 2026EPS 2027EPS 研究机构
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2026-01-15 买入 维持 --- 0.32 1.26 2.60 光大证券
2025-12-30 买入 首次 167.18 0.26 1.15 2.52 国金证券
2025-12-27 增持 维持 --- 0.53 1.39 2.63 方正证券
2025-11-29 买入 维持 131.93 0.61 1.53 2.87 东方证券
2025-11-10 买入 维持 --- 0.35 1.20 2.23 长江证券
2025-11-04 增持 维持 --- 1.15 1.86 2.94 东吴证券
2025-11-01 增持 维持 --- 1.00 2.25 3.55 华西证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-01-15│芯源微(688037)跟踪报告之七：涂胶显影设备龙头，受益于国产替代迫切需求│光大证券 │买入
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涂胶显影市场呈现高度集中态势，国产化需求迫切。涂胶显影行业在全球范围内呈现高度集中态势，其中日本东京电
子（TEL）是全球及我国涂胶显影设备的领导者，处于绝对垄断地位，国产化需求迫切。芯源微为国内唯一可以提供量产
型前道涂胶显影设备的公司，有望受益于国产替代的迫切需求。
半导体设备市场持续高景气。根据SEMI，预计2025年全球半导体设备WFE销售额为1157亿美元，同比增长11.0%，预计
2026-2027年销售额分别为1216和1352亿美元，同比增长9.0%和7.3%，先进逻辑和存储需求为主要驱动因素。后端设备方
面，SEMI预计2025年全球封装设备销售额为64亿美元，预计2026-2027年将达70和75亿美元，同比增长9.2%和6.9%，器件
架构复杂度提升、先进/异构封装加速渗透、AI与HBM性能要求的提升为主要驱动因素。长鑫科技招股说明书发布，拟募集
75亿元用于存储器晶圆制造量产线技术升级改造项目、180亿元用于DRAM存储器技术升级项目。随着产线建设的推进，半
导体设备领域招标有望加速，国产半导体设备公司有望受益。
2025年前三季度订单同比增长。2025年前三季度公司实现营收9.90亿元，同比下滑10.35%，归母净利润为-0.10亿元
。公司2025年前三季度订单整体保持同比增长，前道设备订单占比60%，后道封装和小尺寸产品订单占比不足40%。在具体
产品方面，前道化学清洗机订单增长亮眼，获得国内多家大客户订单及验证性订单。公司的两款高端化学清洗机顺利导入
客户。2025年前三季度化学清洗机的签单中大概70%是高难度机台。此外，公司前道涂胶显影机、前道物理清洗机持续获
得国内领先逻辑、存储等客户订单，公司全新一代前道涂胶显影机整体推进顺利。在后道方面，公司的后道先进封装用涂
胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微电、
珠海天成等海内外一线大厂，持续获得海外封装龙头客户批量重复性订单，同时公司获得国内领先存储客户支持，和客户
紧密合作，前瞻性研发临时键合、解键合设备。
盈利预测、估值与评级：由于公司订单验收和交付节奏不及预期以及费用的增长，我们下调公司2025-2026年归母净
利润预测分别为0.64和2.55亿元（下调81%和47%），新增公司2027年归母净利润预测为5.25亿元。我们看好公司涂胶显影
设备和清洗设备在国产替代趋势下的成长性，维持公司“买入”评级。
风险提示：技术与产品研发风险；贸易环境影响。
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2025-12-30│芯源微(688037)涂胶显影国产替代先驱者，在关键设备领域提前卡位平台化布│国金证券 │买入
│局 │ │
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投资逻辑
公司主营业务为光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备等，公司设备广泛应用于后道先进封装、化合物半导体和ME
MS等行业，并积极拓展前道领域，公司2025年前三季度业绩短期承压，主要系部分订单验收延缓。截至25H1公司存货中发
出商品为9亿元，较24年末增长57%；截至25Q3公司合同负债达8亿元，较24年底增长78%，充足的在手订单有利于公司业绩
重回高增长态势。
半导体设备行业景气度延续，涂胶显影设备国产替代空间广阔。根据SEMI的数据，24年全球半导体设备销售额为1171
亿美元（YOY+10%）。分地区来看，中国大陆24年半导体设备销售额为495亿美元（YOY+35%），占全球市场比重从15年的1
3%提升至42%。涂胶显影设备是集成电路在光刻过程中不可或缺的关键设备，公司的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商
垄断并填补国内空白，目前公司已成功推出包括I-line、KrF及ArF浸没式等多型号产品并获得国内头部逻辑、存储等客户
订单。
产品线持续丰富，北方华创控股带来协同效应。在巩固现有产品竞争优势的基础上，公司积极丰富前道物理/化学清
洗、临时键合机、解键合机、后道先进封装产品线，持续打开新的成长空间。
25年3月先进制造和中科天盛分别与北方华创签署了《股份转让协议》，分别将占公司当时总股份9.5%和8.4%的股份
转让给北方华创。25年6月公司控股股东变更为北方华创，实控人变更为北京电控。截至25Q3北方华创持有公司17.8%的股
权，取得了对公司的控制权有望全面赋能公司研发端、供应链和客户资源，优化研发和供应链管理，推动公司降本增效，
实现业务协同发展。
盈利预测、估值和评级
我们预测公司25-27年归母净利润分别为0.5亿元/2.3亿元/5.1亿元，对应当前PS估值分别为16/11/8倍。参考可比公
司估值，平均26年为11倍PS，公司是国内涂胶显影国产替代的领军者，湿法设备平台化发展有望率先受益国内资本开支重
回上行通道，带动半导体设备的需求增长，我们给予2026年13倍PS，对应目标价为167.18元，首次覆盖，给予“买入”评
级。
风险提示：技术迭代的风险，下游客户产能过剩或扩产不及预期，供应链供货不稳定，公司设备验收周期拉长的风险
，限售股解禁的风险。
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2025-12-27│芯源微(688037)公司跟踪报告：新一代涂胶显影机稳步推进，高端化学清洗机│方正证券 │增持
│加速放量 │ │
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芯源微围绕前道涂胶显影、前道单片清洗、后道先进封装三大主赛道。新一代架构涂胶显影机26年可在客户端看到整
体表现；化学清洗瞄准超临界和高温硫酸两款高端机台实现卡位；高端封装设备聚焦热压键合技术。在控股股东北方华创
的赋能下，公司有望实现业绩高速增长。
涂胶显影：公司目前系国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，产品涵盖offline、I-line、KrF、ArF浸没式
等多种工艺类型。新一代超高产能涂胶显影机架构FTAlkaid具有高产能、高稳定性、高可靠性、高度集成化和智能化等多
项核心优势，机台采用六层对称架构，中间布局高效的晶圆传输模组作为连接枢纽，并设计高效冷盘塔连接模块，在调度
上应用多层并行进片回片模式，可匹配未来更先进的光刻机产能提升需求。该机型有望明年在客户端看到整体表现。
单片清洗：前道物理清洗设备已达到国际先进水平，成功实现国产替代。前道化学清洗设备聚焦先进制程，持续推进
高温硫酸、超临界等高端机台的验证及产业化，前三季度签单同比数倍增长。芯源微已成为国内首个通过高温硫酸清洗工
艺验证并获得重复订单的企业，超临界机台已陆续向多家客户发出样机开展工艺验证。战略性新产品前道化学清洗机KS-C
M300/200洁净度已达先进制程所需水平，适用于沉积前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、CMP后清洗等多种前段工艺
和后段工艺清洗进程，可适配高温SPM工艺，整体工艺覆盖率达80%以上。
先进封装：在后道先进封装领域，芯源微作为成套工艺设备提供商，产品市占率超50%，成为客户端主力量产设备商
，同时持续布局2.5D、3D封装等新兴领域，发展新增长点。公司先进封装产品线布局全面，涵盖涂胶机、显影机、湿法刻
蚀、湿法去胶、湿法清洗、临时键合机、解键合机、TCB热压键合机等多种核心设备。公司临时键合机、解键合机整体技
术已达国际先进水平，产品获得国内多家客户订单，进入逐步放量阶段。公司在2.5D/3D先进封装领域布局的新产品Frame
清洗设备，也已成功通过客户验证，进入逐步放量阶段。目前，公司临时键合大品类在手订单饱满。未来公司高端封装设
备聚焦键合、解键合关键技术，研究解决热压键合关键技术。
投资建议：芯源微围绕前道涂胶显影、前道单片清洗、后道先进封装三大主赛道，核心新品推进顺利，在控股股东北
方华创的赋能下，未来业绩增长动力强劲。我们预计公司2025-2027年营收分别为19.81/24.85/32.21亿元，归母净利润分
别为1.07/2.80/5.30亿元。维持“推荐”评级。
风险提示：下游终端市场需求不及预期风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，系
统性风险等。
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2025-11-29│芯源微(688037)持续推动高端产品突破 │东方证券 │买入
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公司全新一代前道涂胶显影机推进顺利，成长空间广阔。部分投资者担忧公司在前道涂胶显影机高端产品上突破有限
，难以突破海外厂商的垄断。我们认为，公司全新一代前道涂胶显影机推进顺利，有望持续打开成长空间。公司是目前国
内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商。目前，公司新一代机型整体推进顺利，处在司内做调试和验证的阶段，有
望快速在客户端导入验证，新一代架构高产能前道涂胶显影机有望在明年在客户端看到整体表现和效果。公司现有前道涂
胶显影产品已经获得国内头部逻辑、存储等客户订单，offline、I-line、KrF机台在多家客户端量产跑片数据良好。未来
随着新一代产品持续突破，公司有望进一步提升客户认可度。
公司持续实现清洗品类高端产品突破，高温SPM机台打破国外垄断。部分投资者认为清洗品类国产化率的提升已经到
瓶颈期，未来增速可能放缓。我们认为，公司持续突破高端品类，有望打开清洗品类成长空间。在化学清洗设备方面，目
前公司化学清洗机已获得国内多家大客户订单及验证性订单，新签订单实现较快增长。其中，高温SPM清洗工艺被业界公
认为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，目前高温SPM设备市场被海外厂商高度垄断。公司高温SPM机台经过客户端
数月的量产跑片监控，在核心指标上可对标海外龙头，目前该机台已成功通过客户工艺验证，成功打破国外垄断。
北方华创全面赋能公司经营，有望持续发挥协同效应。2025年，国内半导体设备龙头企业北方华创成为公司控股股东
，截至2025年三季报持有公司17.8%的股权。我们认为，北方华创成为公司控股股东后可实现对公司经营的全面赋能，推
动公司内部管理精细度持续提升。展望未来，公司与北方华创持续发挥协同效应，有望助力公司实现前道track的快速突
破，并加大前道化学清洗新品的客户端导入力度。
盈利预测与投资建议
我们预测公司25-27年归母净利润分别为1.24、3.08、5.79亿元（原25-26年预测为3.99、5.72亿元，主要调整了营业
收入、毛利率与费用率），根据DCF估值法，给予131.93元目标价，维持买入评级。
风险提示
半导体设备行业景气度不及预期；客户验证进展不及预期；零部件断供风险；盈利能力改善不及预期；市场份额提升
不及预期。
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2025-11-10│芯源微(688037)短期经营承压，聚焦新品节奏 │长江证券 │买入
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事件描述
近期芯源微发布2025年三季度报告。
2025Q3公司实现营业收入2.81亿元，同比减少31.59%；归母净利润为-0.26亿元，同比减少182.46%；扣非净利润为-0
.44亿元，同比减少1134.04%；毛利率为30.12%，同比减少16.10pct。
2025Q1-Q3公司实现营业收入9.90亿元，同比减少10.35%；归母净利润为-0.10亿元，同比减少109.34%；扣非净利润
为-0.94亿元，同比减少333.93%；毛利率为34.52%，同比减少7.94pct。
事件评论
短期经营承压，核心产品亟待突破。公司前三季度业绩下滑的原因主要来自于三个方面：1、前道Track产品不成熟导
致客户验收确认节奏较慢；2、前道物理清洗前期交付给战略大客户的大批量机台验收推迟；3、前道化学清洗机订单尚未
大规模转化为收入。公司新一代涂胶显影机型整体推进顺利，目前一直在司内做调试和验证，将力争在今年导入到客户端
验证，有望在明年看到新一代架构高产能前道涂胶显影机在客户端的整体表现和效果。关键设备的突破或将确立公司在涂
胶显影赛道的核心地位，打开未来成长空间。
半导体设备行业景气度有望延续，先进制程建设提速。2025年1-9月中国大陆进口半导体设备金额同比增长7.22%达到
324亿美元；主要半导体设备上市公司收入达到243.3亿元，同比增长44.2%。国内晶圆厂建设对半导体设备的需求依然旺
盛，同时由于国产设备仍在一定程度上落后于海外龙头公司产品，因此国产化率提升仍是未来重要看点。从中长期来看，
全球半导体设备市场需求或将持续向好，在先进制程的推进下，SEMI预计2025年全球300mm晶圆厂设备支出将同比增长7%
达到1,070亿美元，到2028年则有望增长至1,380亿美元。在2026-2028年间，Logic/Micro、Memory、Analog以及功率半导
体相关的设备投资预计分别为1,750亿美元、1,360亿美元、410亿美元、270亿美元。
竞争格局良好，多轮驱动增长。公司前道涂胶显影设备产品国内市场领先，随着产品的进一步升级迭代，国内市场份
额有望持续提升；前道清洗设备签单较为稳健，其中物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品有望成为公司新
的业绩增长点；随着先进封装需求的增长，公司后道领域产品组合（涂胶显影、清洗、临时键合、解键合）增长前景可期
。我们预计公司2025-2027年实现归母净利润分别为0.71亿元、2.41亿元、4.49亿元，对应当前市值市盈率水平分别为355
x、104x、56x，维持“买入”评级。
风险提示
1、下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性；2、研发节奏存在不确定性
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2025-11-04│芯源微(688037)2025年三季报点评：业绩短期承压，看好Track国产替代加速 │东吴证券 │增持
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受存量订单结构等因素影响，业绩波动下滑。2025年前三季度公司实现营收9.90亿元，同比-10.4%；归母净利润-0.1
0亿元，同比转亏；扣非净利润为-0.94亿元，同比转亏。Q3单季营收为2.81亿元，同比-31.6%，环比-35.2%，主要受存量
订单结构、生产交付及验收周期等因素影响；归母净利润为-0.26亿元，同环比均转亏；扣非归母净利润-0.44亿元，同比
转亏，环比亏损幅度加大，主要系Q3公司员工人数增长导致管理费用同比大幅增加，汇兑损失增加叠加其它收益减少所致
。
Q3受费用前置等因素影响，盈利能力下滑。2025年前三季度公司毛利率为34.5%，同比-7.9pct；销售净利率为-2.6%
，同比-12.2pct；期间费用率为50.1%，同比+6.1pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为8.5%/20.1%/19.0%/2.5%，
同比-2.6/+5.7/+1.5/+1.6pct。Q3单季毛利率为30.1%，同比-16.1pct，环比-7.4pct；销售净利率为-13.0%，同比-20.4p
ct，环比-15.9pct。
存货&合同负债持续增长，Q3现金流环比转正。截至2025Q3末公司存货为25.26亿元，同比+34.7%；合同负债为8.03亿
元，同比+70.9%。公司战略新品前道化学清洗机新签订单同比增幅较大；前道涂胶显影机签单相对稳定；后道先进封装领
域延续复苏趋势；我们看好北方华创在客户&供应链方面赋能芯源微，涂胶显影设备突破在即。Q3单季公司经营活动净现
金流为0.51亿元，同比+1.7%，环比转正（Q2为-0.85亿元）。
涂胶显影&清洗设备龙头地位稳固，看好化学清洗等产品提供增长新动能。（1）前道涂胶显影设备：成功获得国内头
部逻辑、存储、功率客户订单，高端offline机台快速突破，I-line、KrF机台在多家客户端量产跑片数据良好，客户认可
度持续提升。公司正积极推进ArF浸没式涂胶显影机的导入及验证工作，公司预计将在25Q4发机到客户端验证；（2）前道
物理清洗设备：公司前道物理清洗机获得国内领先逻辑客户批量订单，在26nm颗粒去除能力&产能效率进步提升；（3）前
道化学清洗机台：公司高温SPM机台在三大核心指标上对标海外龙头，已成功通过客户工艺验证，打破国外垄断，已获得
国内多家大客户订单及验证性订单。（4）先进封装设备：公司后道涂胶显影机、单片式湿法设备持续获得国内多家客户
批量重复订单。临时键合/解键合获得多家国内头部客户订单，进入放量阶段。
北方华创控股芯源微，有望加速形成协同发展。北方华创已成为公司控股股东，双方可推动不同设备的工艺整合，提
供更完整高效的集成电路装备解决方案，也可在研发、供应链、客户资源等方面加强协同效应。
盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏，我们维持公司2025-2027年归母净利润预测为2.33/3.75/5.92亿元，当
前股价对应动态PE分别为104/64/41倍。我们看好公司化学清洗设备迎来放量贡献业绩，维持“增持”评级。
风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。
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2025-11-01│芯源微(688037)25Q3业绩承压，Track+湿法+先进封装成长逻辑出色 │华西证券 │增持
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事件概述
公司发布三季报。
前道化学清洗机订单高增，交付节奏影响短期收入
2025Q1-3公司收入9.9亿元，同比-10.4%，其中Q3为2.8亿元，同比-31.6%，不及市场预期，推测系三代机验收推迟。
分业务来看：1）前道Track：结合中报情况，我们判断签单稳定，新一代机型预计将在四季度导入到客户端验证；2）单
片湿法设备：物理清洗机保持优势，前道化学清洗机订单快速放量，预计可以超额完成全年目标，已是公司订单核心增量
来源；3）先进封装：HBM、2.5D等需求旺盛，我们推测临时键合、解键合等签单较好。截至Q3末，公司存货/合同负债为2
5.3/8.0亿元，同比+34.7%/+70.9%，一定程度验证新接订单较好，公司收入端有望逐步恢复。
新品验证+费用前置影响较大，Q3利润端明显承压
2025Q1-3公司归母净利润/扣非归母净利润-0.1/-0.9亿元，同比转亏；其中Q3为-0.3/-0.4亿元，单季度亏损较多。2
5Q3公司归母净利率/扣非归母净利率为-9.24%/-15.7%，同比-16.9pct/-16.7pct，盈利水平下滑明显。具体来看：1）毛
利端：25Q3公司毛利率为30.1%，同比-16.1pct，系订单结构、生产交付及验收等影响；2）费用端：25Q3公司期间费用率
为57.7%，同比+10.2pct，主要系公司员工人数增长导致管理费用、销售费用同比大幅增加和汇兑损失增加；3）25Q3非经
影响不大，利润明显下滑主要系毛利率承压，叠加人员扩张等费用前置影响。
引领Track、清洗等国产替代，先进封装最受益标的之一
AI产业趋势下，HBM、多层堆叠等先进封装需求旺盛，尤其存储大周期下，公司卡位Track、化学清洗等核心环节，少
有提供整套先进封装产品线设备商，成长弹性可观：
1）北方华创入主，持续优化管理架构及运营体系，在研发、生产、供应链、销售等各层面实现全面赋能，有助于公
司Track、清洗、键合等设备加快突破，其中新一代架构高产能Track预计明年验证结束；高温硫酸清洗机（SPM）打破海
外垄断，已通过领先客户工艺验证；2）先进封装方面，公司全面布局Track、湿法设备、临时键合、解键合、TCB热压键
合等设备，其中临时键合和解键合技术达到国际水平，目前在手订单近20台；公司为先进封装设备核心标的，持续受益武
汉新芯、盛合晶微等上市催化。
投资建议
我们维持2025-2027年公司营收预测为20.96、26.93、34.62亿元，分别同比+19.5%、+28.5%、28.6%；归母净利润预
测为2.01、4.54、7.17亿元，分别同比-0.7%、125.1%、58.0%；对应EPS为1.00、2.25、3.56元。2025/10/31股价119.99
元对应PE分别为120、53、34倍，维持“增持”评级。
风险提示
半导体行业景气下滑、新品拓展不及预期等。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：1家
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2025-11-24│芯源微(688037)2025年11月24日投资者关系活动主要内容
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一、介绍2025年三季度经营情况
公司前三季度实现营业收入9.9亿，同比下降10%，主要原因一是前道Track产品成熟性还不高，客户端验收节奏较慢
；二是前道物理清洗前期交付给战略大客户的大批量机台验收推迟；三是前道化学清洗，这是公司的战略新产品，今年签
单增幅比较明显，但机台从签单到交验通常需要一定时间，前三季度尚未贡献收入，预计后续会陆续贡献收入。
前三季度归母净利润-1004.9万，主要原因是营收同比下降，同时人工成本增加等导致期间费用提升等。
现金流方面，前三季度经营活动现金流净额为-2.3亿，主要原因是战略新产品前道化学清洗机签单快速增长，物料备
货采买支出大幅增加，同时人员增加导致员工薪酬等支出等增加，结合业务实际来看，公司经营性现金流总体是良性的。
合同负债方面，三季度末公司合同负债较去年年末增长接近80%，也在一定程度上从侧面反映了签单的情况。
整体上，公司从经营层面，无论是收入还是利润，今年会阶段性存在一些压力。但随着北方华创在今年6月成为公司
控股股东并全面赋能以来，公司还是发生了很多新的变化，各方面的管理精细度都在持续提升。在集团的大力支持下，公
司正持续聚焦主要资源，力争在今明两年实现前道track的快速突破，另外也将持续加大前道化学清洗新品的客户端导入
力度，同时不断巩固在后道先进封装领域的领先优势，坚定信心，确保未来几年业务稳健发展。
二、互动交流
Q1：请解析三季度业绩变化情况？
A1：公司前三季度实现营业收入9.9亿，同比小幅下降的主要原因是受存量订单结构、生产交付及验收周期等影响，
前道涂胶显影、前道物理清洗部分客户端机台交验节奏相对较慢，同时公司战略新产品前道化学清洗签单增幅明显，但机
台从签单到交验通常需要一定时间，前三季度尚未开始贡献收入。前三季度归母净利润-1004.9万，利润下降的主要原因
是营收同比下降，同时2025年是公司研发的大年，包括新一代涂胶显影机、高端化学清洗机、先进封装新产品、核心零部
件等研发投入及人才储备强度较大，人工等成本增加等导致期间费用提升。
Q2：公司目前与哪些企业有合作？
A2：公司产品包括前道涂胶显影设备、前道物理清洗设备、前道化学清洗设备、后道先进封装设备和化合物等小尺寸
设备。公司前道涂胶显影机、前道物理清洗机持续获得国内领先逻辑、存储等客户订单；前道化学清洗机获得国内多家大
客户订单及验证性订单；后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛
合晶微、长电科技、华天科技、通富微电、珠海天成等海内外一线大厂，持续获得海外封装龙头客户批量重复性订单，同
时公司获得国内领先存储客户支持，和客户紧密合作，前瞻性研发临时键合、解键合设备；公司化合物等小尺寸设备近年
来已作为主流机型批量应用于三安集成、华灿光电、乾照光电、北京赛微等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设
备。
Q3：公司明年在技术创新方面有何突破或方向？
A3：前道涂胶显影设备将进一步优化单元和整机设计，提高产品的可靠性、稳定性，研究新一代inline、offline高
产能关键技术，并进一步提升产品的技术等级和应用范围；前道化学清洗设备将研究解决湿法设备关键技术，提高清洗设
备产能，并持续推进高温硫酸、超临界等高端机台的验证及产业化；高端封装设备聚焦键合、解键合关键技术，研究解决
热压键合关键技术，推进研发和产业化进程。
Q4：公司业绩出现大幅下降的原因及公司未来的营收目标？
A4：2025年是公司研发的大年，包括新一代涂胶显影机、高端化学清洗机、先进封装新产品、核心零部件等研发投入
及人才储备强度较大。同时，公司战略新产品前道化学清洗机订单快速增长，对应投入的管理费用、销售费用持续增加。
但公司新产品从研发、获得订单到转化成收入需要一定周期，会有投入产出时间上的错配。另外叠加政府补助未如期到账
、汇兑损失等因素，导致利润下滑。公司将继续锚定前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装三大核心主赛道，以客户为
中心，持续提升产品竞争力及市场占有率，不断做优做大经营体量。
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参与调研机构：68家
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2025-10-30│芯源微(688037)2025年10月30日投资者关系活动主要内容
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一、介绍2025年前三季度经营情况
公司前三季度实现营业收入9.9亿，同比下降10%，主要原因一是前道Track产品成熟性还不高，客户端验收节奏较慢
；二是前道物理清洗前期交付给战略大客户的大批量机台验收推迟；三是前道化学清洗，这是公司的战略新产品，今年签
单增幅比较明显，但机台从签单到交验通常需要一定时间，前三季度尚未贡献收入，预计后续会陆续贡献收入。
前三季度归母净利润-1004.9万，主要原因是营收同比下降，同时人工成本增加等导致期间费用提升等。
现金流方面，前三季度经营活动现金流净额为-2.3亿，主要原因是战略新产品前道化学清洗机签单快速增长，物料备
货采买支出大幅增加，同时人员增加导致员工薪酬等支出等增加，结合业务实际来看，公司经营性现金流总体是良性的。
合同负债方面，三季度末公司合同负债较去年年末增长接近80%，也在一定程度上从侧面反映了签单的情况。
整体上，公司从经营层面，无论是收入还是利润，今年会阶段性存在一些压力。但随着北方华创在今年6月成为公司
控股股东并全面赋能以来，公司还是发生了很多新的变化，各方面的管理精细度都在持续提升。在集团的大力支持下，公
司正持续聚焦主要资源，力争在今明两年实现前道track的快速突破，另外也将持续加大前道化学清洗新品的客户端导入
力度，同时不断巩固在后道先进封装领域的领先优势，坚定信心，确保未来几年业务稳健发展。
二、互动交流
Q1：公司前三季度签单情况及全年签单预期？
A1：从签单结构来看，前三季度公司整体签单中约60%是前道，不到40%是后道封装和小尺寸产品。公司前三季度整体
签单同比保持了增长，其中化学清洗机增长亮眼，前三季度的签单是去年全年的数倍，增幅非常明显，这也是奠定明年公
司化学清洗机收入的重要基础。
Q2：公司全新一代前道涂胶显影机目前的研发进展情况如何？
A2：公司新一代机型整体推进顺利，目前一直在司内做调试和验证，将力争在今年导入到客户端验证，有望在明年看
到新一代架构高产能前道涂胶显影机在客户端的整体表现和效果，届时我们也将在合规的前提下，通过多种方式及时与广
大投资者交互。
Q3：公司化学清洗机的优势？
A3：芯源作为化学清洗赛道的后发者，一定要走相对差异化的路线，公司以高端工艺为抓手，以高带低，瞄准目前客
户被卡脖子的两款高端机台实现卡位的同
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