研报评级☆ ◇688037 芯源微 更新日期：2026-05-23◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-05-06
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
────────────────────────────────────────────────
1月内 5 2 0 0 0 7
2月内 5 4 0 0 0 9
3月内 5 4 0 0 0 9
6月内 5 4 0 0 0 9
1年内 5 4 0 0 0 9
────────────────────────────────────────────────
【2.盈利预测统计】(近6个月)
┌──────────┬─────┬─────┬─────┬─────┬─────┬─────┐
│财务指标 │ 2023年│ 2024年│ 2025年│2026年预测│2027年预测│2028年预测│
├──────────┼─────┼─────┼─────┼─────┼─────┼─────┤
│每股收益(元) │ 1.82│ 1.01│ 0.36│ 1.09│ 2.10│ 3.45│
│每股净资产(元) │ 17.26│ 13.39│ 13.85│ 14.81│ 16.67│ 19.64│
│净资产收益率% │ 10.53│ 7.54│ 2.57│ 7.31│ 12.77│ 17.80│
│归母净利润(百万元) │ 250.63│ 202.81│ 71.71│ 220.61│ 424.71│ 695.86│
│营业收入(百万元) │ 1716.97│ 1753.61│ 1948.49│ 2512.22│ 3333.22│ 4436.33│
│营业利润(百万元) │ 279.44│ 221.78│ 65.09│ 233.57│ 449.78│ 737.80│
└──────────┴─────┴─────┴─────┴─────┴─────┴─────┘
【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2026EPS 2027EPS 2028EPS 研究机构
────────────────────────────────────────────────
2026-05-06 买入 维持 --- 1.04 2.22 3.37 方正证券
2026-05-06 买入 维持 --- 1.10 2.34 4.10 国海证券
2026-05-05 增持 维持 --- 0.99 2.00 3.19 招商证券
2026-05-04 买入 维持 279.3 1.16 2.12 3.34 华创证券
2026-05-01 增持 维持 --- 1.01 1.98 3.23 东吴证券
2026-04-24 买入 维持 --- 1.22 1.57 2.80 申万宏源
2026-04-22 买入 维持 --- 1.10 2.33 4.09 国海证券
2026-04-21 增持 维持 --- 1.01 1.98 3.23 东吴证券
2026-04-20 增持 维持 --- 1.22 2.40 3.71 财通证券
────────────────────────────────────────────────
【4.研报摘要】(近6个月)
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-05-06│芯源微(688037)动态研究：涂胶显影验证顺利，清洗&后道设备持续放量 │国海证券 │买入
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
营收同比稳健增长，扣非同比减亏。2026Q1，公司实现营收3.3亿元，同比+20.1%，环比-65.5%；归母净利润0.04亿
元，同比-24.7%，环比-95.7%；扣非归母净利-0.08亿元，同比减亏，环比-110.0%；毛利率为46.7%，同环比分别+12.4/+
10.4pct，净利率为3.1%，同环比分别+3.9/-7.0pct。
期间费用率同比较平稳，毛利率提升带动盈利改善。2026年第一季度，公司销售、管理、研发和财务费用率分别为13
.1%/21.9%/18.7%/2.9%，同比分别+6.4/+1.9/-4.5/-1.8pct，环比分别+6.4/+10.1/+11.7/+2.6pct。
涂胶显影新机验证进展顺利，化学清洗机持续放量。1）公司前道track（涂胶显影机）目前正处于成熟过程中，新一
代机型整体推进较为顺利，公司将加快推进机台验证，持续提升在客户端的认可度和市占率；2）前道化学清洗机方面，
目前高端产品陆续实现卡位并已经开始放量，订单增速很快，公司将借助北方华创集团赋能，与集团产品协同配合，不断
提升在客户端的市占率，提高产品订单及收入规模。
后道封装高景气，公司产品有望持续受益。后道下游市场景气度2026年预计将有所提升，公司也在持续推出一系列新
产品，前几年推出的临时键合、解键合以及frame清洗都有非常好的表现，随着客户在CoWoS、HBM以及3DIC等领域的深化
布局，公司后道产品也将持续受益。
盈利预测和投资评级：我们预计公司2026-2028年营收分别为24亿元、33亿元、45亿元，同比增速分别为23%、39%、3
5%，归母净利润分别为2.21亿元、4.72亿元、8.26亿元，同比增速分别为208%、113%、75%，对应当前市值2027-2028年的
PE分别为99倍、57倍。公司是国产涂胶显影设备龙头，我们维持“买入”评级。
风险提示：下游扩产不及预期，技术升级迭代及产品研发失败风险，产品商业化推广不及预期，政府补助政策风险，
市场竞争加剧，股价波动风险。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-05-06│芯源微(688037)公司点评报告：毛利率同环比显著提升，高端化学清洗机加速│方正证券 │买入
│放量 │ │
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
26Q1公司实现营收3.31亿元，同比增长20.08%；归母净利润350.89万元，扣非归母净利润-756.76万元，其中政府补
助1519.55万元（25Q1为5263.05万元）；毛利率46.69%，同比提升12.4个百分点，环比提升10.4个百分点。
2025年公司实现营收19.48亿元，同比增长11.11%；归母净利润7171万元；毛利率35.39%。从收入构成来看，化学清
洗首次贡献收入，后续随着持续签单及交验节奏加快，预计化学清洗收入占比也将持续提升；后道及小尺寸收入占比基本
持平，其中键合品类收入规模及占比大幅提升；前道Track收入规模有所增长，随着新机型陆续推出并推进验证，将持续
巩固国产细分龙头地位。签单方面，全年新签订单保持较快增长；化学清洗机已全面导入国内多家头部晶圆厂，并获得了
部分客户的批量重复性订单，客户采买意愿强烈，预计化学清洗未来几年将保持不错增长。
涂显：公司目前已成功推出包括offline、I-line、KrF及ArF浸没式在内的多种型号产品，产品持续获得国内头部逻
辑、存储、功率客户订单，offline、I-line、KrF等机台在多家客户端量产跑片数据良好，客户认可度不断提升。新一代
涂胶显影机架构研发进展顺利，正加快推进工艺验证和产业化销售。
清洗：公司化学清洗机整体工艺覆盖率达90%以上，并已成功突破难度最高的前道前中段部分工序。公司将通过高带
低的方式，用高端机台带动中低端机台销售，并借助北方华创集团赋能，与集团产品协同配合，不断提升在客户端的市占
率，提高产品订单及收入规模。公司高端机台已经获得了客户充分的认可。前道高端化学清洗机台经过客户端数月的量产
跑片监控，在三大核心指标上可对标海外龙头，已成功通过客户工艺验证。战略性新产品前道化学清洗机签单表现优秀，
高端SPM机台已通过国内头部客户工艺验证，获得国内客户高度认可，目前化学清洗机已获得国内多家大客户重复性订单
；前道物理清洗机成功获得国内头部客户批量订单。
后道：后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，继续获得封装龙头客户批量重复性订单。临时键合
机、解键合机、Frame清洗机等已顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段，2025年收入占比大幅提升。随着客户
在CoWoS、HBM以及3DIC等领域的深化布局，公司后道产品也将持续受益。
投资建议：芯源微立足涂显赛道，高端化学清洗加速放量，高端封装产品稳步布局，业绩增长动力强劲。我们预计公
司2026-2028年营收分别为25.10/33.21/44.52亿元，归母净利润分别为2.10/4.48/6.80亿元。维持“强烈推荐”评级。
风险提示：下游终端市场需求不及预期风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，系
统性风险等。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-05-05│芯源微(688037)涂胶显影新品研发进展顺利，清洗及后道设备订单持续放量 │招商证券 │增持
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
事件：公司发布2026一季报，公司26Q1营收3.30亿元，同比+20.1%/环比-65.5%，毛利率46.7%，同比+12.4pcts/环比
+10.4pcts，归母净利润0.035亿元，同比-24.7%/环比-95.7%，扣非净利润-0.076亿元，同比+81.1%/环比-110.0%。公司
前道涂胶显影设备、化学清洗机及后道先进封装设备逐步放量，订单及营收规模有望持续增长，维持“增持”投资评级。
26Q1营收同比增长，毛利率同环比改善。26Q1营收3.30亿元，同比+20.1%/环比-65.5%，毛利率46.7%，同比+12.4pct
s/环比+10.4pcts，归母净利润0.035亿元，同比-24.7%/环比-95.7%，扣非净利润-0.076亿元，同比+81.1%/环比-110.0%
。
2025全年营收同比增长，电子工艺装备部分产品价格承压。2025全年实现营业收入19.48亿元、同比+11.1%，毛利率3
5.4%、同比-2.3pcts，公司销售/管理/财务费用率有所上升，归母净利润0.7亿元，同比-64.6%，扣非净利润为-0.2亿元
，同比-124.7%。其中电子工艺装备整体营收18.79亿元，同比+9.9%，占比97.5%，毛利率35.02%，同比-2.3pcts，主要系
部分产品开拓市场价格承压所致；产品备件营收0.48亿元，同比+50.4%，毛利率67.3%，同比+2.9pcts。
涂胶显影、清洗、后道先进封装等各产品线订单持续落地。①新一代涂胶显影机架构研发进展顺利，可匹配下一代更
先进光刻机产能提升需求；②化学清洗机已获国内多家大客户重复性订单，新签订单实现较快增长，高产能物理清洗机成
功通过存储客户验证并获重复订单；③后道涂胶显影设备、单片式湿法设备持续获得封装龙头客户批量重复性订单，部分
技术已达到国际领先水平，亦获多家海外客户持续认可；临时键合机、解键合机顺利通过多家客户工艺验证并全面进入量
产阶段，持续获得国内多家客户订单；Frame清洗机已成功通过客户验证进入逐步放量阶段。
投资建议：公司前道涂胶显影设备、化学清洗机及后道先进封装设备逐步放量，订单及营收规模有望持续增长，我们
预计26-28年营收25.04/33.77/47.91亿元，归母净利润2.00/4.03/6.43亿元，对应PE为233.7/116.2/72.8倍，维持“增持
”投资评级。
风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，晶圆厂产能利用率下滑的风险，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-05-04│芯源微(688037)2025年报及2026年一季报点评：Q1毛利率大幅提升，涂胶显影│华创证券 │买入
│+清洗双赛道国产替代加速 │ │
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
事项：
2026年4月18日，公司发布2025年报；2026年4月30日，公司发布2026年一季报：
1）2025年公司实现营收19.48亿元，同比+11.11%；毛利率35.39%，同比-2.28pct；归母净利润0.72亿元，同比-64.6
4%；扣非归母净利润-0.18亿元，同比转亏（24年同期为0.73亿元）。
2）26Q1公司实现营收3.31亿元，同比/环比+20.08%/-65.50%；毛利率46.69%，同比/环比+12.40pct/约+10.40pct；
归母净利润351万元，同比/环比-24.70%/-95.71%；扣非归母净利润-757万元，同比减亏81.11%/环比转亏（25Q4为0.76亿
元）。
评论：
全年利润承压不掩经营改善趋势，26Q1毛利率大幅修复至46.7%。2025全年利润大幅下滑主因三重压力叠加：人员规
模扩张带动成本费用增加、政府补助减少（其他收益同比降48%）、部分产品开拓市场价格承压导致存货减值计提增加。2
6Q1，公司收入同比+20.08%，环比-65.50%属设备行业典型Q4冲量后的季节性回落；毛利率46.69%，同/环比大幅提升12.4
0pct/10.40pct，主要系产品结构持续向前道高附加值品类升级；扣非亏损大幅收窄至-757万元（去年同期-4007万元）；
研发费用率18.70%，同比下降4.48pct，研发投入绝对额基本持平，规模效应开始体现。
前道涂胶显影持续获头部客户订单，化学清洗机签单放量打开第二增长极。全球前道涂胶显影设备市场长期被海外厂
商高度垄断，国产化替代需求迫切。公司是国内少有的可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，offline、I-line、KrF等机
台在多家客户端量产跑片数据良好，2025年，公司持续获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单；战略性新产品前道化学
清洗机表现亮眼，高端SPM机台经客户端数月量产跑片监控、在颗粒控制/刻蚀率均一性/金属离子控制三大核心指标上已
可对标海外龙头，成功通过客户工艺验证，目前已获得国内多家大客户重复性订单，新签订单实现较快增长；此外，前道
物理清洗机获得国内头部客户批量订单，高产能物理清洗机通过存储客户验证并获得重复订单；临时键合机、解键合机、
Frame清洗机等新产品已通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段。
涂胶显影国产化率极低叠加光刻机产能升级，公司卡位核心赛道。全球前道涂胶显影市场长期被海外厂商高度垄断，
国产化率仍处低位。随着ASML新一代光刻机产能提升，对与之联机作业的涂胶显影设备提出更高的产能匹配要求。公司已
布局新一代涂胶显影机架构进行匹配，机台应用超薄成膜、超细线宽均一性、精细缺陷控制等技术，研发进展顺利。同时
清洗工序占芯片制造步骤30%以上且随先进制程推进持续增加，化学清洗机TAM空间广阔。据SEMI预测，2026-2028年全球3
00mm晶圆厂设备支出将达3740亿美元，国产设备迎来黄金发展期，公司卡位核心赛道，有望深度收益。
投资建议：半导体设备国产替代进程加速，公司作为国内涂胶显影设备龙头，卡位优势明显，单片化学清洗设备等新
产品放量，同时北方华创控股后未来可期。考虑到新产品验证周期及收入确认节奏，我们将公司2026-2027年收入预测由2
7.48/35.98亿元下调至25.03/32.93亿元，新增2028年收入预测为44.28亿元，考虑涂胶显影设备国产化率极低且供给端具
备稀缺性，参考公司历史估值及行业可比公司估值，给予2026年22.5倍PS，对应目标价为279.3元，维持“强推”评级。
风险提示：国际贸易形势变化；下游客户扩产不及预期；上游零部件供应短缺。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-05-01│芯源微(688037)2026一季报点评：订单驱动营收稳健增长，国产替代进程加速│东吴证券 │增持
│推进 │ │
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
营收同比稳健增长，订单新签与交付顺利推进：2026Q1公司营收为3.31亿元，同比+20.08%，主要系新签订单增长与
交货验收顺利推进，环比-65.60%；归母净利润为0.04亿元，同比-24.70%，主要系政府补助减少，环比-95.71%；扣非归
母净利润为-0.08亿元，同比减亏，主要系营收规模及毛利率增长，环比转负。
设备毛利率显著改善：2026Q1公司销售毛利率为46.69%，同比+12.40pct，环比+10.40pct；销售净利率为3.09%，同
比+3.90pct，环比-7.02pct。期间费用率为56.62%，同比+2.02pct，环比+4.82pct，其中销售/管理/财务/研发费用率为1
3.15%/21.89%/2.88%/18.70%，同比+6.37/+1.95/-1.82/-4.48pct。
订单交付节奏顺畅，合同负债较25年底略降：截至2026Q1末公司合同负债为6.33亿元，环比-7.92%；存货为27.00亿
元，环比+14.13%。2026Q1公司经营性现金流为-3.43亿元，同比净流出额增加，环比转负，主要系采购付款规模扩大及人
员薪酬支出增加。
前后道多品类进入批量复购，华创助力公司加速国产替代：北方华创已控股芯源微，双方将通过工艺整合与研发、供
应链、客户资源协同，提升整体解决方案能力与竞争力。（1）前道涂胶显影设备：持续获得国内头部客户订单，offline
、I-line、KrF等机台在多家客户端量产跑片数据良好，客户认可度不断提升，我们认为随着国产替代加速，ArFi机台验
证有望加速。（2）前道物理清洗设备：产品已获得国内头部客户批量订单，高产能物理清洗机通过存储客户验证并获得
重复订单，展现市场龙头地位。（3）前道化学清洗机：成功通过客户工艺验证，报告期内获得国内多家大客户重复性订
单，新签订单实现较快增长。（4）先进封装设备：后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，获得国内
多家客户批量重复性订单；临时键合/解键合整体技术已达到国际先进水平，顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量
阶段。
盈利预测与投资评级：考虑到下游晶圆厂资本开支节奏及公司产品验证进度，我们维持公司2026/2027年归母净利润
为2.0/4.0亿元，预计公司2028年归母净利润为6.5亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为230/117/72X，维持“增
持”评级。
风险提示：下游扩产不及预期，新产品研发&验证不及预期。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-04-24│芯源微(688037)化学清洗机、键合机加速国产化，2025年签单提速 │申万宏源 │买入
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
2025年报：2025年全年营业收入19.48亿，同比增长11%；归母净利润7170.51万元，同比较大幅度下降，主要由营收
增速不高，叠加期间费用增加、政府补助减少等因素所致。2025年业绩低于预期。
化学清洗机、临时键合机量产突破，订单占比快速提升。从收入构成来看，化学清洗首次贡献收入，全面导入国内多
家头部晶圆厂，并获得了部分客户的批量重复性订单，预计化学清洗在收入中的占比也将持续提升；后道及小尺寸收入占
比基本持平，其中键合品类收入规模及占比大幅提升；前道Track收入规模有所增长，随着新机型陆续推出并推进验证，
将持续巩固国产细分龙头地位。从签单结构来看，2025年签单中化学清洗和后道先进封装相关产品占比较高，其中化学清
洗占比快速提升。
前道化学清洗机工艺覆盖度90%以上。2024年3月正式公开发布，机台具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产
能等多项核心优势，机台适用于多种SPM工艺，同时可应用于沉积前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、CMP后清洗等多
种前段工艺和后段工艺清洗进程，整体工艺覆盖率达90%以上。机台搭载独立开发的新一代高清洗效率低损伤射流喷嘴，
洁净度已达到先进制程所需水平。
全自动临时键合及解键合机主要针对Chiplet技术解决方案，可应用于InFO、CoWoS、HBM等2.5D、3D技术路线产品，
兼容国内外主流胶材工艺，能够适配60μm及以上超大膜厚涂胶需求，可实现高对准精度、高真空度环境、高温高压力键
合工艺，键合后产品TTV及翘曲度表现优异，对应开发的机械、激光解键合技术，可覆盖不同客户产品及工艺需求。
下调盈利预测，维持“买入”评级。由于Track设备市场拓展节奏低于预期，将2026年营收、归母净利润预测从34/4.
4亿元下调至28/2.4亿元；新增2027-28年营收预测37/50亿元，归母净利润预测3.1/5.5亿元。半导体设备企业大多处于发
展早期，普遍PE值较高。采用PS估值，可比公司（拓荆科技、金海通、中科飞测）2026年PS17X，较芯源微2026年PS13X高
32%，维持“买入”评级。
风险提示：晶圆厂扩产节奏低于预期；新设备验证不达预期等；原材料采购周期延长。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-04-22│芯源微(688037)2025年报点评：涂胶显影新机进展顺利，高端化学清洗持续放│国海证券 │买入
│量 │ │
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
事件:
芯源微4月17日发布2025年报：
2025年，公司实现营收19.5亿元，同比+11.1%；归母净利润0.7亿元，同比-64.6%；扣非归母净利润-0.2亿元，同比-
124.7%；毛利率35.4%，同比-2.3pct，净利率3.6%，同比-7.9pct。
2025Q4，公司实现营收9.6亿元，同比+47.6%，环比+240.8%；归母净利润0.82亿元，同比-14.1%，环比扭亏；扣非归
母净利润0.76亿元，同比+127.3%，环比扭亏；毛利率为36.3%，同环比分别+6.8/+6.2pct，净利率为10.1%，同环比分别-
4.7/+23.1pct。
投资要点:
期间费用率整体平稳、政府补助+资产减值导致净利率承压。2025年，销售、管理、研发和财务费用率分别为7.7%/16
.0%/13.1%/1.4%，同比分别+2.5/+1.8/-3.9/+0.9pct；2025Q4，公司销售、管理、研发和财务费用率分别为6.8%/11.8%/7
.0%/0.3%，同比分别+11.9/-2.1/-9.2/+0.6pct，环比分别-4.7/-13.3/-12.8/-1.0pct。
涂胶显影新机进展顺利，清洗+后道设备订单趋势良好。1）公司前道涂胶显影机产品持续获得国内头部逻辑、存储、
功率客户订单，新一代涂胶显影机将尽快推动工艺验证及产业化销售；2）前道化学清洗机签单表现优秀，已获得国内多
家大客户重复性订单；3）后道封装方面，后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续获得封装龙头客户批量重复性订单，新
产品临时键合机、解键合机等已顺利通过多家客户验证，进入逐步放量阶段。
盈利预测和投资评级：我们预计公司2026-2028年营收分别为24亿元、33亿元、45亿元，同比增速分别为23%、39%、3
5%，归母净利润分别为2.21亿元、4.71亿元、8.25亿元，同比增速分别为208%、113%、75%，对应当前市值的PE分别为171
倍、80倍、46倍。公司是国产半导体设备龙头，我们维持“买入”评级。
风险提示：下游扩产不及预期，技术升级迭代及产品研发失败风险，产品商业化推广不及预期，供应商供货不稳定或
成本提升风险，政府补助政策风险，市场竞争加剧，国际贸易摩擦加剧。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-04-21│芯源微(688037)2025年报点评：Q4营收高增，看好湿法设备龙头加速核心设备│东吴证券 │增持
│国产替代 │ │
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
Q4营收高增：2025年公司实现营业总收入19.48亿元，同比+11.1%；归母净利润0.72亿元，同比-64.6%；扣非归母净
利润-0.18亿元，同比-124.7%，主要系本期政府补助减少及部分验证新品毛利较低。Q4单季营收9.58亿元，同比+48%，环
比+58%；归母净利润0.82亿元，同比-14%，环比+142%；扣非归母净利润0.76亿元，同比+127%，环比-76%。
盈利能力短期承压，看好批量产品改善盈利：2025年公司综合毛利率为35.39%，同比-2.28pct，主要系部分前道新品
验证初期毛利率较低。销售净利率3.6%，同比-7.86pct；期间费用率为38.1%，同比+1.4pct，其中销售/管理/财务/研发
费用率分别为7.7%/16.0%/1.4%/13.1%，同比+2.5/+1.8/+0.9/-3.9pct。Q4单季销售毛利率36.29%，同比+22.85pct，环比
+6.17pct；Q4销售净利率10.11%，同比-31.92pct，环比+23.10pct。
订单加速放量，现金流显著改善：截至2025Q4末，公司存货23.66亿元，同比+30.26%，主要系前道新品导入周期较长
、在途订单积累所致；合同负债6.88亿元，同比+52.51%，订单加速落地。Q4单季经营活动净现金流3.35亿元，同比+33%
，环比+559%，现金流显著改善。
前后道多品类进入批量复购，华创助力公司加速国产替代：北方华创已控股芯源微，双方将通过工艺整合与研发、供
应链、客户资源协同，提升整体解决方案能力与竞争力。（1）前道涂胶显影设备：持续获得国内头部客户订单，offline
、I-line、KrF等机台在多家客户端量产跑片数据良好，客户认可度不断提升，我们认为随着国产替代加速，ArFi机台验
证有望加速。（2）前道物理清洗设备：产品已获得国内头部客户批量订单，高产能物理清洗机通过存储客户验证并获得
重复订单，展现市场龙头地位。（3）前道化学清洗机：成功通过客户工艺验证，报告期内获得国内多家大客户重复性订
单，新签订单实现较快增长。（4）先进封装设备：后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，获得国内
多家客户批量重复性订单；临时键合/解键合整体技术已达到国际先进水平，顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量
阶段。
盈利预测与投资评级：考虑到下游晶圆厂资本开支节奏及公司产品验证进度，我们调整公司2026-2027年归母净利润
为2.0（原值3.8）、4.0（原值5.9）亿元，预计公司2028年归母净利润为6.5亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别
为180/92/56X，考虑到公司作为国产TRACK龙头有望充分受益于TRACK设备国产替代，维持“增持”评级。
风险提示：下游扩产不及预期，新品研发&验证不及预期。
──────┬──────────────────────────────────┬──────┬────
2026-04-20│芯源微(688037)新产品研发取得进展，利润暂时承压 │财通证券 │增持
──────┴──────────────────────────────────┴──────┴────
事件：4月18日，公司发布2025年报。公司全年实现营业收入19.48亿元，同比增长11.11%；实现归母净利润0.72亿元
，同比减少64.65%。
多重因素导致利润短期承压：2025年公司员工人数呈现增长态势，导致薪酬福利支出等费用同比大幅增加；公司计入
其他收益的政府补助减少；此外，公司部分产品因开拓市场价格承压，导致部分产品可变现净值低于存货账面价值，计提
资产减值准备增加。上述因素共同导致利润承压。
新产品产业化取得重要突破：公司前道化学清洗机KS-CM300/200已成功通过国内头部客户工艺验证，核心指标可对标
海外龙头，已获得国内多家大客户重复性订单，进入快速放量阶段。此外，应用于Chiplet技术路线的临时键合机、解键
合机顺利通过多家客户验证并全面量产，Frame清洗机等新产品亦进入逐步放量阶段，产品线持续丰富，新业务增长点不
断涌现。
控制权变更落地，产业协同可期：2025年6月，北方华创正式成为公司控股股东。北方华创与公司双方同属集成电路
装备领域但产品布局互补；本次控制权变更有利于双方在工艺整合、客户资源共享、供应链协同等方面深化合作，为客户
提供更完整的集成电路装备解决方案，长期协同效应值得期待。
投资建议：我们预计公司2026-2028年实现营业收入24.16/30.11/36.93亿元，归母净利润2.47/4.84/7.48亿元。对应
PE分别为148.8/75.9/49.1倍，维持“增持”评级。
风险提示：半导体市场景气度下行；海外供应链风险；国内半导体设备需求放缓；高端设备研发进度不及预期；行业
竞争加剧。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：204家
──────┬──────────────────────────────────────────────
2026-04-20│芯源微(688037)2026年4月20日投资者关系活动主要内容
──────┴──────────────────────────────────────────────
一、介绍公司2025年经营情况
公司2025年全年实现营业收入19.48亿，同比增长11%。从收入构成来看，化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单
及交验节奏加快，预计化学清洗在收入中的占比也将持续提升；后道及小尺寸收入占比基本持平，其中键合品类收入规模
及占比大幅提升；前道Track收入规模有所增长，随着新机型陆续推出并推进验证，将持续巩固国产细分龙头地位。
全年归母净利润7170.51万，同比较大幅度下降，主要由营收增速不高，叠加期间费用增加、政府补助减少等因素所
致。
现金流方面，全年经营活动现金流量净额1.03亿，较去年有所下降，主要由签单持续增长，物料备货采买支出大幅增
加，同时人员增加导致支付员工薪酬等支出等增加所致，总体看现金流是良性的。
签单方面，全年新签订单保持较快增长，尤其是新产品化学清洗机，已经全面导入国内多家头部晶圆厂，并获得了部
分客户的批量重复性订单，客户对于机台表现的认可度高，采买意愿强烈，预计化学清洗在未来几年仍将保持不错增长。
合同负债方面，2025年末公司合同负债同比增长超50%，一定程度上也反映了签单的良好态势。
整体上，随着北方华创在2025年6月成为公司控股股东并全面赋能以来，公司发生了很多新的变化，各方面管理精细
度都在稳步提升，公司正持续聚焦主要资源，力争在未来几年实现前道track的快速突破。同时，公司也将继续加大前道
化学清洗新品的客户端导入力度，并不断巩固在后道先进封装领域的领先优势，保障未来几年业务持续向好发展。
二、互动交流
Q1：公司2025年签单结构及2026年签单展望？
A1：从签单结构来看，2025年签单中化学清洗和后道先进封装相关产品占比较高，其中化学清洗占比快速提升。公司
对2026年签单预期有信心，将在传统优势赛道先进封装领域进一步提升市占率，推动订单金额持续增长；对于另外两个主
赛道，一是前道track，公司产品目前正处于成熟过程中，将加快推进机台验证，持续提升在客户端的认可度和市占率；
二是前道化学清洗，目前高端产品陆续实现卡位并已经开始放量，订单增速很快，公司将借助北方华创集团赋能，与集团
产品协同配合，不断提升在客户端的市占率，提高产品订单及收入规模。
Q2：后道产品下游客户需求、订单增速展望及新产品进展？
A2：2026年后道下游市场景气度预计将有所提升，整体上看，后道是相对稳健、产品标准化程度较高的细分赛道，公
司成熟产品具有较强的行业竞争力。此外，公司也在持续推出一系列新产品，前几年推出的临时键合、解键合以及frame
清洗，这两年也都有非常好的表现，2025年收入占比大幅提升。随着客户在CoWoS、HBM以及3DIC等领域的深化布局，公司
后道产品也将持续受益。
Q3：公司全新一代前道涂胶显影机目前进展情况？
A3：公司新一代机型整体推进较为顺利，后续我们会在合规的前提下，通过多种方式及时与广大投资者交互机台在客
户端的整体表现和效果。
Q4：公司资产减值损失同比增加的原因？
A4：公司按照会计准则，基于谨慎性原则，对于可回收金额低于账面价值的设备计提资产减值准备。主要原因一是部
分机台市场竞争较为激烈，二是对重点客户销售策略的考量。公司正在针对全系列产品制定降本增效的具体
|