拉普拉斯半导体取得晶片承载机构及外延装置专利,提升晶片反应时的稳定性
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国家知识产权局信息显示,拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司取得一项名为“晶片承载机构及外延装置”的专利,授权公告号CN223633517U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型属于CVD设备技术领域,公开了晶片承载机构及外延装置,晶片承载机构,晶片承载机构包括基座组件和承托组件,基座组件包括基座本体,基座本体上设置有承载环和旋转轴,旋转轴和承载环位于基座本体的相对两侧,承载环的内环周向间隔设置的承托块,相邻承托块之间形成通口;承托块面向基座本体的一侧开设有承托槽;承托组件包括托盘环,托盘环被配置为承托晶片;托盘环沿其周向分布有托耳,托耳能够通过通口嵌入至承托槽内;外延装置包括上述晶片承载机构,以能够提升晶片反应时的稳定性。
天眼查资料显示,拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息77条,此外企业还拥有行政许可5个。
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