中微半导体申请下电极组件及等离子体处理设备专利，解决在工艺过程中基片箝位电压的失稳问题

本文源自:金融界

金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“下电极组件及等离子体处理设备”的专利，公开号CN120149245A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种下电极组件及等离子体处理设备。下电极组件包括：静电吸盘，其上表面用于承载基片；位于静电吸盘中的第一电极，其与一脉冲式直流偏压源电连接；位于静电吸盘中的第二电极，其通过一隔离电路与一直流电压源电连接，所述第二电极与所述基片之间形成第二电容；所述隔离电路包含一二极管和一电容器，所述二极管的负极与所述直流电压源的负极电连接、正极与所述第二电极电连接，所述电容器的第一端电连接所述二极管的正极和所述第二电极之间、第二端接地且与所述直流电压源的正极电连接，所述电容器的电容值小于所述第二电容的电容值。本发明通过隔离脉冲式直流偏压源对箝位电压的影响，解决在工艺过程中基片箝位电压的失稳问题。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目65次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息1543条，此外企业还拥有行政许可72个。