中科飞测申请半导体关键尺寸量测的X射线量测系统专利，有效提高了CD-SAXS量测系统模型计算的准确性

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国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”的专利，公开号CN 121007513 A，申请日期为2024年11月。专利摘要显示，本发明涉及半导体关键尺寸量测技术领域，具体提供一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统，包括：兼容的CD-SAXS量测系统和XRR量测系统、共用样品台、样品台、XRR运算系统以及SAXS运算系统，其中，CD-SAXS量测系统和XRR量测系统的量测点相同且位于共用样品台上，通过XRR量测系统实时采集半导体样品的反射率信号，XRR运算系统依据反射率信号获得半导体样品的电子密度及膜层周期等关键信息，并将这些信息作为先验知识共享给SAXS运算系统，CD-SAXS运算系统依据CD-SAXS量测系统获取的散射信号以及先验知识计算得到半导体样品的HAR结构尺寸本发明在CD SAXS量测过程中，同时、同步获取了同一量测点的反射率信息，为CD-SAXS量测提供先验知识，有效提高了CD-SAXS量测系统模型计算的准确性。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目268次，财产线索方面有商标信息255条，专利信息1055条，此外企业还拥有行政许可40个。

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