深圳中科飞测申请半导体检测装置及其控制方法专利，可实现检测精度和速度的切换

本文源自:金融界

金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种半导体检测装置及其控制方法”的专利，公开号CN119880900A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请提供了一种半导体检测装置及其控制方法，设置多个倍率的物镜，可根据检测精度的需求而灵活切换这些物镜，实现高检测精度低检测速度与低检测精度高检测速度的切换；且通过移动暗场狭缝的位置调控暗场照明光斑的分布，使暗场照明光斑匹配任一物镜倍率下的暗场采集视场，通过控制暗场照明光斑区域可避免明暗场采集视场之间的串扰。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目245次，财产线索方面有商标信息245条，专利信息930条，此外企业还拥有行政许可38个。