深圳中科飞测申请形貌参数提取专利，提高了形貌参数计算的准确性

本文源自:金融界

金融界2025年4月26日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种形貌参数的提取方法、装置、设备及可读存储介质”的专利，公开号CN119861097A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种形貌参数的提取方法、装置、设备及可读存储介质，可应用于半导体技术领域，该方法包括：获取待测纳米结构的实测散射图谱；确定与所述待测纳米结构对应的待测形貌参数；基于所述待测形貌参数，确定与所述待测纳米结构对应的理论散射图谱；基于所述理论散射图谱和所述实测散射图谱构建评价函数；基于所述评价函数和非梯度优化算法，确定所述待测形貌参数对应的初始参数值；基于所述评价函数和梯度优化算法对所述初始参数值进行优化，得到与所述待测形貌参数对应的目标参数值。如此，结合梯度优化算法和非梯度优化算法，先寻找参数解的相对位置然后精细求解待测纳米结构的形貌参数值，从而提高了形貌参数计算的准确性。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目245次，财产线索方面有商标信息245条，专利信息928条，此外企业还拥有行政许可38个。