颀中科技获得实用新型专利授权：“芯片制造设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示颀中科技（688352）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“芯片制造设备”，专利申请号为CN202420512448.0，授权日为2025年5月2日。

专利摘要：一种芯片制造设备，包括：具有腔室的盖体、设置于腔室内的承载台、与腔室连通的输液管路和控制输液管路开启或关闭的输液阀，输液管路具有朝承载台出射稀释液体的出液口；输液阀为常开式阀体，在输液阀断电后，输液管路导通以使稀释液体从出液口流出。本实用新型在腔室内设置了输液管路，输液管路上设置有常开式的输液阀实现了在制造设备出现断电等异常后能够使输液管路开启，输液管路内喷射出水等流体，喷射出的流体从出液口喷出，并喷射到承载台上的晶圆表面，能够对晶圆表面残留的酸或碱等药液进行稀释，从而降低药液的腐蚀性，对晶圆起到保护的作用，避免了制造设备在出现故障后导致的放置在承载台上的晶圆报废。

今年以来颀中科技新获得专利授权21个，较去年同期增加了425%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了1.55亿元，同比增45.53%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。