燕东微电子申请雪崩探测器及制备方法专利,获得小尺寸大阵列像素的雪崩探测器
本文源自:金融界
金融界2025年6月11日消息,国家知识产权局信息显示,北京燕东微电子股份有限公司申请一项名为“雪崩探测器及制备方法”的专利,公开号CN120129337A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明涉及雪崩探测器的技术领域,具体提供一种雪崩探测器及制备方法,旨在解决现有雪崩探测器的制备过程难以获得小尺寸像素的问题。为此目的,本发明的雪崩探测器的制备方法利用浅沟槽隔离工艺在外延层中形成沟槽,将外延层远离衬底的一侧隔离成呈阵列设置的孤岛,之后对沟槽的底部和侧壁进行掺杂以形成围绕孤岛的保护环,最后在孤岛中形成增益层和接触层以构成像素。其中,采用浅沟槽隔离技术能够获得良好的像素间隔离,从而获得小尺寸大阵列像素的雪崩探测器。
天眼查资料显示,北京燕东微电子股份有限公司,成立于1987年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本119910.4111万人民币。通过天眼查大数据分析,北京燕东微电子股份有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目130次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息149条,此外企业还拥有行政许可9个。