燕东微电子申请离子注入机的清洁方法专利，解决现有离子注入机停机清洁问题

本文源自:金融界

金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，北京燕东微电子科技有限公司申请一项名为“离子注入机的清洁方法”的专利，公开号CN119905382A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本公开涉及半导体加工技术领域，具体提供一种离子注入机的清洁方法，旨在解决现有离子注入机需要停机以进行清洁的问题。为此目的，本公开的离子注入机的清洁方法包括：将靶材放置于离子注入机的注入腔体内；向离子注入机的注入腔体内注入轰击靶材的第一离子束，以在靶材表面上形成电荷积累层来吸附悬浮污染物颗粒，实现清洁离子注入机的目的。

天眼查资料显示，北京燕东微电子科技有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1200000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京燕东微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1009次，专利信息152条，此外企业还拥有行政许可113个。