江苏微导纳米申请沉积设备及其工艺方法专利，简化设备整体结构

本文源自:金融界

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“沉积设备及其工艺方法”的专利，公开号CN120158729A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明提供了一种沉积设备及其工艺方法，包括：调控阀机构，包括用于与远程等离子体源连接的输入端以及输出端，输出端包括内层通道和外层通道；进气管机构，为内外双层结构且包括内层管和外层管，内层管与内层通道连通，外层管与外层通道连通；喷淋机构，通过分隔板分隔形成有上层空间和下层空间，外层管设于喷淋机构上且与上层空间连通，所上层空间通过若干个第一导流通道与反应腔室连通，内层管穿过上层空间并设于分隔板上，内层管与下层空间连通，下层空间通过若干个第二导流通道与反应腔室连通。本发明通过一个调控阀机构可实现对内层管和外层管的清洁气体的通断控制，简化了设备的整体结构。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次，财产线索方面有商标信息88条，专利信息507条，此外企业还拥有行政许可68个。