华海清科申请晶圆边抛装置等专利，有助于对抛光带张力精准控制

本文源自:金融界

金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆边抛装置、系统、张力检测及控制方法”的专利，公开号CN119871162A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆边抛装置、系统、张力检测及控制方法，该晶圆边抛装置包括抛光模组及抛光带，抛光模组包括供带机构、供带导轮组件、压力进给组件、收带导轮组件及收带机构，晶圆边抛装置还包括设置在压力进给组件至少一侧的检测机构；检测机构包括测力传感器及设置在测力传感器上的力传导件，测力传感器用于检测力传导件所受作用力，抛光带还绕设在所述力传导件上，并且能够对力传导件产生作用力。本申请的晶圆边抛装置通过抛光带对力传导件产生的作用力，进而通过测力传感器感应力传导件对测力传感器的作用力之差，进行抛光带张力的直接在线检测，有助于对抛光带的张力进行精准控制，大大降低边抛的工艺控制难度。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目221次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息672条，此外企业还拥有行政许可30个。