拓荆科技获得发明专利授权：“可提供吹扫气体的晶圆处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“可提供吹扫气体的晶圆处理装置”，专利申请号为CN202010588838.2，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆处理装置，包含：一或多个处理站，所述处理站包含一上盖、一隔离环及一喷淋组件，其中该隔离环安置于该上盖与该喷淋组件之间，其特征在于该上盖、该隔离环及该喷淋组件共同形成所述处理站的一吹扫气体路径，该吹扫气体路径用于形成一流动帘于该处理站。

今年以来拓荆科技新获得专利授权22个，较去年同期增加了144.44%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

数据来源：天眼查APP

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