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证券时报e公司讯，5月16日，至纯科技与上海化工区签署投资意向协议。至纯科技拟在上海电子化学品专区投资建设半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目，助力提升我国集成电路关键材料的本土生产能力。