广东依顿电子申请光刻图形误差校正方法及校正装置专利，提高生产效率

本文源自:金融界

金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，广东依顿电子科技股份有限公司申请一项名为“一种光刻图形误差校正方法及校正装置”的专利，公开号 CN119987154A，申请日期为 2025 年 2 月。

专利摘要显示，本申请提供一种光刻图形误差校正方法及校正装置；所述光刻图形误差校正方法包括：设计包括若干横向线条和竖向线条的光绘图纸，其中，横向线条和竖向线条涵盖曝光机各 DMD 之间的拼接位置和非拼接位置；然后将覆光致抗蚀层的板件置于曝光机的工作台面上，并将光绘图纸载入 DMD 成像系统；进一步启动曝光机的曝光程序，进而基于光绘图纸获得每个 DMD 的线条宽度变化量和曝光能量变化量，以根据线条宽度变化量和曝光能量变化量完成 DMD 能量校正，并根据线条宽度变化量完成 DMD 拼接校正。本申请可以快速地监控生产状态是否正常，极大地节约了测试时间，提高了生产效率；并且测量精度较高，更利于生产过程管控。

天眼查资料显示，广东依顿电子科技股份有限公司，成立于2000年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本99844.2611万人民币。通过天眼查大数据分析，广东依顿电子科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目108次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息172条，此外企业还拥有行政许可95个。