证券日报网讯 3月18日，力合科技在互动平台回答投资者提问时表示，目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案，AMC中部分参数可以到ppt级。
（编辑 丛可心）