启赛微电子取得贴膜晶圆的贴膜质量检测工装专利，提高贴膜晶圆的贴膜质量检测效率

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国家知识产权局信息显示，四川启赛微电子有限公司取得一项名为“一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装”的专利，授权公告号CN 223624929 U，申请日期为2024年11月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装，涉及半导体器件生产技术领域，该检测工装包括：支撑板、限位组件、定位组件和标记槽；支撑板用于放置贴膜后的晶圆和环形支架；限位组件设于支撑板的板面，限位组件能够沿晶圆的径向抵紧于环形支架的两对侧；定位组件设于支撑板的板面，能够横向抵紧于环形支架的两处；标记槽设置为与晶圆的待切割面半径相等的环形凹槽，且和定位组件的位置相适配。本实用新型可快速判断出贴膜是否同心度较低或偏移超标，不需要使用游标卡尺对基膜的环径测试，观察次即可判断出晶圆的贴膜质量是否合格贴膜晶圆的贴膜质量检测效率，不存在检测数据上的误差，检测的准确性高。

天眼查资料显示，四川启赛微电子有限公司，成立于2022年，位于绵阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本22600万人民币。通过天眼查大数据分析，四川启赛微电子有限公司参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息3条，此外企业还拥有行政许可29个。

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