宁波南大光电申请浸没式光刻胶相关专利，提升光刻胶性能

本文源自:金融界

金融界2025年4月25日消息，国家知识产权局信息显示，宁波南大光电材料有限公司申请一项名为“浸没式光刻胶用树脂、制备方法及浸没式光刻胶”的专利，公开号CN119798525A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明适用于半导体技术领域，提供了一种浸没式光刻胶用树脂、制备方法及浸没式光刻胶。该制备方法在反应容器中加入引发剂、甲基丙烯酸乙基环戊醇、甲基丙烯酸羟基金刚烷酯、甲基丙烯酸丁内酯和反应溶剂，加热进行聚合反应，在反应后期向反应容器中加入含氟单体，继续加热进行反应，使生成部分含氟树脂与主体树脂复合的浸没式光刻胶用树脂，可以直接将该没式光刻胶用树脂用作光刻胶中的树脂组分，不需要再添加其他树脂，其中含氟树脂能在光刻胶表面聚集，发挥topcoat层的作用，同时也不存在疏水高分子化合物与光刻胶主体树脂不匹配的问题。

天眼查资料显示，宁波南大光电材料有限公司，成立于2018年，位于宁波市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36733.19万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波南大光电材料有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目31次，专利信息145条，此外企业还拥有行政许可44个。