光刻机概念股震荡走高，凯美特气触及涨停

（来源：科创100ETF基金）

　　光刻机概念股震荡走高，凯美特气（002549）触及涨停，茂莱光学、中船特气、波长光电（301421）、久日新材纷纷上扬。