北方华创微电子申请红外测温仪的校温方法、工艺腔室及半导体工艺设备专利，提高最终校温的准确性

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“红外测温仪的校温方法、工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN 121048768 A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明提供红外测温仪的校温方法、工艺腔室及半导体工艺设备，校温方法包括：在加热装置的加热功率在预设范围内渐变的过程中，获取第一红外测温装置检测到的第一温度、第二测温装置检测到的第二温度以及热偶装置检测到的第三温度；根据加热功率、第一温度、第二温度以及第三温度，确定第一红外测温装置在不同第一温度时对应的温度补偿值；根据第一红外测温装置在不同第一温度时对应的温度补偿值对第一红外测温装置进行温度补偿。本发明的校温方法，与现有技术相比在建立温度补偿关系时不再单单依靠热偶装置采集的数据，而将工艺腔室的温度也纳入了考量范围，进而使得出的补偿值更加准确，进而提高最终校温的准确性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1277次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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